マーク検査装置 - メーカー・企業と業務用製品 | イプロスものづくり

インクマーク検査装置

パターンの影響をほとんど受けず安定してインクマークの面積を測定します！様々なウェハ品種に対応する特殊な光学系。

当装置は、パターンの影響をほとんど受けず安定してインクマークの面積を測定できる自動検査装置です。 安定した検出能力で様々なウェハ品種に対してインクを浮き出させる特殊な光学系を用いております。簡単な設定でウェハ種類毎に照明の輝度値と2値化レベルを決めるだけで測定でき、プローバとはGPIBで通信を行います。また、プローバを使わず専用のXYステージを付けて稼動する装置も製作可能です。 【特長】 ■様々なウェハ品種に対してインクを浮き出させる特殊な光学系 ■パターンの影響をほとんど受けず安定してインクマークの面積を測定 ■簡単な設定で照明の輝度値と2値化レベルを決めるだけ ■GPIB通信による自動検査が可能 ■専用のXYステージを付けた稼動装置も製作可能 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。