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各種薬液の温度管理に！ウェットプロセスに欠かせない直接循環式薬液恒温装置
日本エクセル株式会社では『ケミカルサーキュレータ』を取り扱っております。 当製品は、RCA洗浄やウェットエッチングで用いられる薬液の温度を高精度に コントロール可能。ゴムOリングが直接液に触れないシール構造のため 酸性液、アルカリ性液など薬液毎のシール材質の選定が不要です。 また、冷却加熱部の伝熱接液部材は高純度のガラス状炭素を使用しており 溶出金属イオンによる汚染の心配がなく、表面保護膜も不要のため 剥離による能力低下もありません。 【特長】 ■薬液の温度を高精度にコントロール ■電子冷熱方式のため、室温付近の温度コントロールに適し且つ高精度 ■国際保護規格IP31に適合 ■漏液センサ、温度スイッチを内蔵 ■高メガピット化に伴うクリーン度アップのご要求にお応え ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
金属イオンの溶出汚染がないインライン型の抵抗ヒータ方式薬液加熱装置をご紹介
日本エクセル株式会社では『ケミカルヒータ』を取り扱っております。 当製品は、RCA洗浄やウェットエッチングで用いられる各種薬液の 高温加熱用として、短時間に精度よく温度制御する抵抗ヒータを用いて います。 さらに、接液部にはフッ素樹脂と高純度ガラス状炭素のみを用いているため 不純物汚染の恐れが無く、酸性薬液・アルカリ性薬液、及び有機溶剤への 対応が可能です。 【特長】 ■加熱部の伝熱接液部材は高純度のガラス状炭素を使用 ■溶出金属イオンによる汚染の心配がない ■表面保護膜不要のため、剥離による能力低下がない ■酸性薬液・アルカリ性薬液、及び有機溶剤への対応が可能 ■薬液の漏れを検知する漏液センサ、異常温度を検知する温度スイッチを内蔵 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
ドライ摺動に最適化したシール構成を標準採用。既存グランドパッキンからの改造・切替にご用命ください。
『ケミマイティーII typeEAB』は、竪型かくはん機の軸封に好適な製品です。 缶内物質と金属製部品が接しないので、耐食性の確保・金属成分の溶出対策に 有効。メカニカルシール構成部品のほとんどが機器外部にあり、インストールが 容易なだけでなくメンテナンス性にも優れ、外部からの点検も簡単に行えます。 「SiC(P5)固定環」と「ドライ摺動に最適化した特殊充填材入りPTFE(G8) シールリング」の組み合わせを標準とし、各種の使用条件・仕様にあわせた シール端面材の組み合わせが選択可能です。 【特長】 ■アウトサイド構造のドライランニングシール ■メンテナンス性に優れ、外部からの点検も簡単に行える ■F.V.～0.4MPaGまで使用できる構造設計 ■缶内物質・使用条件により、選択可能なシール端面材をラインアップ ■多様な機器で、ユーザー様のご要求に沿った製品を標準的に供給可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
