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高純度雰囲気で、光学部品の封着・ろう付け・熱処理をサポート
光学部品の製造では、材料の酸化や汚染を抑えながら、安定した温度・雰囲気で処理することが重要です。 特に、セラミックスと金属の気密封着、ガラス封着、ろう付け、アニール、焼成では、炉内雰囲気の清浄性や温度均一性が品質に影響します。 弊社のメタル炉は、Mo・Wなどの金属ヒーターを用いた高温雰囲気炉で、真空・N2・Ar・H2などの雰囲気に対応可能です。 光学部品、センサ部品、電子部品、セラミックス部品など、処理物の材質・サイズ・温度・雰囲気に応じてカスタム設計します。 ■ セラミックスと金属の気密封着を行いたい ■ 光学部品のろう付け・アニール条件を検討したい ■ 酸化や汚染を抑えた雰囲気で熱処理したい ■ 真空・N2・Ar・H2雰囲気で処理したい ■ 既製炉では温度、炉内寸法、雰囲気条件が合わない
高真空・高純度雰囲気で、半導体部品の気密封止と信頼性向上をサポート
半導体部品では、長期信頼性を確保するため、封止工程における気密性や酸化・汚染の抑制が重要です。 特に、セラミックスと金属の封止、ろう付け、アニール、焼成では、炉内の清浄性や真空・雰囲気制御が品質に影響します。 弊社のメタル炉は、炉内を金属部材で構成しているため、断熱材由来の粉じんや不純物の影響を抑えやすく、清浄な高純度雰囲気での熱処理に適しています。 また、一般的な断熱材炉に比べて高真空まで減圧しやすく、真空・N2・Ar・H2などの雰囲気で、半導体部品の気密封止、ろう付け、酸化防止、アニールに対応可能です。 ■ 半導体部品の気密封止条件を検討したい ■ セラミックスと金属の接合・封止品質を安定させたい ■ 酸化や汚染を抑えた高純度雰囲気で処理したい ■ 高真空、N2、Ar、H2雰囲気で熱処理したい ■ 既製炉では真空度、清浄度、炉内寸法が合わない
オールメタル構成で、カーボン・炉材由来の汚染を抑えた高純度熱処理
当社で取り扱う「小型メタル炉」は、カーボンコンタミを嫌う材料の高純度焼成・アニールに適した電気炉です。 オールメタル構成により、黒鉛材や有機系断熱材に由来する炭素汚染を抑え、色味・表面状態・特性の再現性向上に貢献します。 ～1800℃の安定運転に対応し、高温焼成、拡散接合、時効処理、表面改質などに使用できます。 大学・研究室など設置スペースが限られる環境でも導入しやすいコンパクト設計です。 【特長】 ■ オールメタル構成でカーボンコンタミを低減 ■ ～1800℃の高温処理に対応 ■ N2パージ・置換により低酸素雰囲気を再現 ■ 色味・表面状態・物性の再現性向上に貢献 ■ 研究室・試作環境にも設置しやすい小型設計 ※詳しくは資料ダウンロードまたはお問い合わせください。
