高真空・高純度雰囲気で、半導体部品の気密封止と信頼性向上をサポート
半導体部品では、長期信頼性を確保するため、封止工程における気密性や酸化・汚染の抑制が重要です。 特に、セラミックスと金属の封止、ろう付け、アニール、焼成では、炉内の清浄性や真空・雰囲気制御が品質に影響します。 弊社のメタル炉は、炉内を金属部材で構成しているため、断熱材由来の粉じんや不純物の影響を抑えやすく、清浄な高純度雰囲気での熱処理に適しています。 また、一般的な断熱材炉に比べて高真空まで減圧しやすく、真空・N2・Ar・H2などの雰囲気で、半導体部品の気密封止、ろう付け、酸化防止、アニールに対応可能です。 ■ 半導体部品の気密封止条件を検討したい ■ セラミックスと金属の接合・封止品質を安定させたい ■ 酸化や汚染を抑えた高純度雰囲気で処理したい ■ 高真空、N2、Ar、H2雰囲気で熱処理したい ■ 既製炉では真空度、清浄度、炉内寸法が合わない
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基本情報
【特長】 ■ 高真空からN2・Ar・H2などの還元雰囲気まで対応 ■ 金属炉内構造により、高純度・清浄雰囲気での焼成が可能 ■ 他炉種に比べて高真空まで減圧しやすい構造 ■ 半導体部品の気密封止、ろう付け、アニールに対応 ■ Mo・Wなどの金属ヒーターにより清浄な高温雰囲気を維持 ■ 炉内寸法、ガス系統、排気系、安全対策をカスタム設計 【対応処理】 ■ 気密封止 ■ セラミックスと金属の接合 ■ ろう付け ■ アニール ■ 酸化防止 ■ 高真空熱処理 ■ 還元雰囲気処理
価格情報
※装置仕様によって価格が変動するため、詳しくはお気軽にお問合せください。
納期
※※装置仕様によって納期が変動するため、詳しくはお気軽にお問合せください。
用途／実績例
【このような課題に】 ■ 半導体部品の気密封止・ろう付け条件を検討している ■ セラミックスと金属の接合品質を安定させたい ■ 高真空・高純度雰囲気で酸化や汚染を抑えたい ■ 封止後の信頼性や歩留まりを改善したい ■ 既製炉では真空度、炉内寸法、雰囲気条件が合わない ※詳しい仕様については資料をダウンロードいただくか、お気軽にお問い合わせください。
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企業情報
当社は、「電気」「設備」「化学」の三つの技術を独自のノウハウで 融合させ、革新的な加熱炉、その他設備を開発している会社です。 独自の高温電気炉技術を活かしカーボン炉やマルチ雰囲気炉、メタル炉、 塩素炉など様々な電気炉(加熱炉)を取り扱っております。 単なる設備メーカーではなく、10年先のスタンダードを見据え、お客様と 共にモノづくりを革新的な熱でサポートする、戦略的開発パートナーです。
