メタルホットゾーンで炉材由来コンタミを抑え、金属粉・薄膜材料をクリーンに熱処理
当社で取り扱う「メタル炉」は、小型・密閉構造のため、研究室・ 分析室レベルでも安全に設置可能です。 触媒担体や導電材料の還元処理、スパッタターゲット材・焼結体前処理の 高純度熱処理、高温での酸化・拡散・析出挙動の基礎研究などの用途に好適。 テスト機もご用意いたしております。 また、小型機以外にも量産スケールの炉も製作可能です。 【特長】 ■炉材に金属(Mo/W/ステンレス等)を採用し、カーボン由来の汚染を抑制 ■真空雰囲気～還元雰囲気(H₂/N₂/Ar)まで対応し、高純度環境での熱処理が可能 ■高精度な温度制御(～1800℃)により、薄膜や微粒子のアニール条件を正確に再現 ■小型・密閉構造のため、研究室・分析室レベルでも安全に設置可能 ■量産機へのスケールアップ実績あり (サーモニックENGでは大型メタル炉の製造実績もあり) ※詳しくは、お気軽にお問い合わせください。
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基本情報
【このような課題に】 ■ 高温アニール時に、カーボン炉材由来の不純物混入を避けたい ■ 金属粉・薄膜材・焼結体をクリーンな雰囲気で熱処理したい ■ 微粒材料で残留カーボン、酸化、雰囲気ムラの影響を抑えたい ■ 小スケール試料でも再現性の高い温度制御・雰囲気制御が必要 【メタル炉で対応できること】 ■ 高真空、Ar/N₂、還元雰囲気でのアニール ■ 炉材由来コンタミを抑えた高純度熱処理 ■ 酸化除去、残留応力緩和、結晶性向上、表面改質 ■ 研究開発から少量試作までの条件確認 ※詳しくは、お気軽にお問い合わせください。
価格帯
納期
用途／実績例
【用途】 ■ 高純度金属粉の表面酸化除去・結晶化アニール ■ 薄膜材、Mo、Al、Cu系材料の残留応力緩和・結晶性向上 ■ 触媒担体、導電材料の還元処理・表面改質 ■ スパッタターゲット材、焼結体の前処理 ■ 高温での酸化、拡散、析出挙動の基礎研究 材料、処理温度、雰囲気条件が未確定の段階でも、用途に応じてご相談いただけます。 ※詳しくは、お気軽にお問い合わせください。
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企業情報
当社は、「電気」「設備」「化学」の三つの技術を独自のノウハウで 融合させ、革新的な加熱炉、その他設備を開発している会社です。 独自の高温電気炉技術を活かしカーボン炉やマルチ雰囲気炉、メタル炉、 塩素炉など様々な電気炉(加熱炉)を取り扱っております。 単なる設備メーカーではなく、10年先のスタンダードを見据え、お客様と 共にモノづくりを革新的な熱でサポートする、戦略的開発パートナーです。
