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炉内がメタル材料で構成！断熱材などによる炉内の汚染を低減可能な加熱炉
「メタル炉」は、炉内の構成部材(ヒーター・断熱材・炉壁)をすべて タングステンやモリブデンなどの金属で構成した高性能加熱炉です。 通常のアルミナやカーボン製炉では避けられない微量コンタミネーションを 排除し、超高純度・高温・クリーンな焼成環境を実現。 特に、真空または不活性ガス雰囲気での超高温プロセスに適しています。 研究開発から量産まで、シビアな温度・雰囲気管理が求められる プロセスに対応します。 【特長】 ■高純度環境 ■高精度温度制御 ■超高温対応 ■真空・不活性雰囲気対応 ■低アウトガス・低発塵 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
真の高純度酸化物・窒化物材料へ。真空～還元雰囲気まで自在制御、脱ガス・脱炭・高純度化プロセスを一台で実現
当社で取り扱う「メタル炉」は、高精度温度制御(～1800℃)×自動排気制御で 脱ガス挙動を安定再現します。 高温処理時に試料内部から発生する吸着水・CO2・残留有機物を効率的に 除去できない、高純度プロセスを再現性良く実施できるラボスケール装置が 少ないなどの課題を解決。 小型ながら大型炉へのスケールアップ可能構造を採用しております。 【特長】 ■金属製ヒーター・金属製チャンバー構造により、カーボン源の混入を排除 ■高真空(10^-3～10^-5Pa)運転＋還元雰囲気(H₂/Ar/N₂)切替に対応 ■高精度温度制御(～1800℃)×自動排気制御で脱ガス挙動を安定再現 ■酸化物・窒化物の高純度化、残留C・O低減に最適化されたヒートプロファイル ■小型ながら大型炉へのスケールアップ可能構造を採用(Thermonik ENG製) ※詳しくは、お気軽にお問い合わせください。
