真の高純度酸化物・窒化物材料へ。真空～還元雰囲気まで自在制御、脱ガス・脱炭・高純度化プロセスを一台で実現
当社で取り扱う「メタル炉」は、高精度温度制御(～1800℃)×自動排気制御で 脱ガス挙動を安定再現します。 高温処理時に試料内部から発生する吸着水・CO2・残留有機物を効率的に 除去できない、高純度プロセスを再現性良く実施できるラボスケール装置が 少ないなどの課題を解決。 小型ながら大型炉へのスケールアップ可能構造を採用しております。 【特長】 ■金属製ヒーター・金属製チャンバー構造により、カーボン源の混入を排除 ■高真空(10^-3～10^-5Pa)運転＋還元雰囲気(H₂/Ar/N₂)切替に対応 ■高精度温度制御(～1800℃)×自動排気制御で脱ガス挙動を安定再現 ■酸化物・窒化物の高純度化、残留C・O低減に最適化されたヒートプロファイル ■小型ながら大型炉へのスケールアップ可能構造を採用(Thermonik ENG製) ※詳しくは、お気軽にお問い合わせください。
この製品へのお問い合わせ
基本情報
【このような課題に】 ■超高純度酸化物粉末やセラミック部材において、ppmオーダーのC・H・O不純物が 物性を左右する ■通常の電気炉では炉材由来の炭素汚染・還元反応が避けられない ■高温処理時に試料内部から発生する吸着水・CO2・残留有機物を効率的に除去できない ■高純度プロセスを再現性良く実施できるラボスケール装置が少ない ※詳しくは、お気軽にお問い合わせください。
価格帯
納期
用途／実績例
【用途】 ■SiO2, Al2O3, ZrO2, HfO2, La2O3などの高純度粉末・セラミックの脱炭・脱ガス処理 ■酸化物ターゲット材の前処理/不純物除去 ■窒化物粉末の精製・残留酸素低減(Si3N4, AlN, BN など) ※詳しくは、お気軽にお問い合わせください。
カタログ（1）
カタログをまとめてダウンロード
企業情報
当社は、「電気」「設備」「化学」の三つの技術を独自のノウハウで 融合させ、革新的な加熱炉、その他設備を開発している会社です。 独自の高温電気炉技術を活かしカーボン炉やマルチ雰囲気炉、メタル炉、 塩素炉など様々な電気炉(加熱炉)を取り扱っております。 単なる設備メーカーではなく、10年先のスタンダードを見据え、お客様と 共にモノづくりを革新的な熱でサポートする、戦略的開発パートナーです。
