金属雰囲気を活かしたクリーンな加熱環境で、金属粉・薄膜材料の特性を最大限に引き出す
当社で取り扱う「メタル炉」は、小型・密閉構造のため、研究室・ 分析室レベルでも安全に設置可能です。 触媒担体や導電材料の還元処理、スパッタターゲット材・焼結体前処理の 高純度熱処理、高温での酸化・拡散・析出挙動の基礎研究などの用途に好適。 テスト機もご用意いたしております。 また、小型機以外にも量産スケールの炉も製作可能です。 【特長】 ■炉材に金属(Mo/W/ステンレス等)を採用し、カーボン由来の汚染を抑制 ■真空雰囲気～還元雰囲気(H₂/N₂/Ar)まで対応し、高純度環境での熱処理が可能 ■高精度な温度制御(～1800℃)により、薄膜や微粒子のアニール条件を正確に再現 ■小型・密閉構造のため、研究室・分析室レベルでも安全に設置可能 ■量産機へのスケールアップ実績あり (サーモニックENGでは大型メタル炉の製造実績もあり) ※詳しくは、お気軽にお問い合わせください。
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基本情報
【このような課題に】 ■高温アニール時にカーボン炉材からの不純物混入が避けられない ■高純度材料の熱処理には酸素・水分・炭素源の少ない雰囲気が必要 ■小スケール試料の評価でも再現性の高い温度制御と雰囲気制御が求められる ※詳しくは、お気軽にお問い合わせください。
価格帯
納期
用途／実績例
【用途】 ■高純度金属粉(Ni, Cu, Mo, Wなど)の表面酸化膜除去・結晶化アニール ■薄膜材料(Ti, Mo, Al, Cu系等)の残留応力緩和・結晶性向上 ■触媒担体や導電材料の還元処理 ■スパッタターゲット材・焼結体前処理の高純度熱処理 ■高温での酸化・拡散・析出挙動の基礎研究 ※詳しくは、お気軽にお問い合わせください。
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企業情報
当社は、「電気」「設備」「化学」の三つの技術を独自のノウハウで 融合させ、革新的な加熱炉、その他設備を開発している会社です。 独自の高温電気炉技術を活かしカーボン炉やマルチ雰囲気炉、メタル炉、 塩素炉など様々な電気炉(加熱炉)を取り扱っております。 単なる設備メーカーではなく、10年先のスタンダードを見据え、お客様と 共にモノづくりを革新的な熱でサポートする、戦略的開発パートナーです。
