セラミックスと金属の熱膨張差を制御しながら、クリーン雰囲気で強固に封着
当社では、全金属ホットゾーンの「メタル炉」を取り扱っております。 接合(封着・ろう付け・拡散接合)では、微量O2/H2O/炭化水素が 濡れ性・界面反応・気密に直結。メタル炉は真空10^-5Pa級＋(Mo/W) ホットゾーンで、炭素・有機由来の汚染源を排除します。 薄膜・電極・光学部材の高純度アニール/封止などに応用可能です。 【特長】 ■高真空(10^-5Pa級)～還元雰囲気運転対応 ■金属炉構造(Mo/W)で清浄雰囲気を維持 ■±1℃以内の温度均一性と長期安定制御 ■金属治具や荷重加圧機構との組合せが容易 ■試料の小型化・局所加熱試験にも対応 ※詳しくは、お気軽にお問い合わせください。
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基本情報
【メタル炉が効く理由】 ■低O2/H2O/HC：濡れ性・界面強度・気密(Heリーク)を安定化 ■炭素フリー：黒鉛由来の汚染・炭化防止、活性金属ろうの挙動が安定 ■真空、還元の切替迅速：試作～量産条件出しを短サイクルで ※詳しくは、お気軽にお問い合わせください。
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用途／実績例
【応用例】 ■セラミックス-金属の封着/ろう付け/拡散接合 ■薄膜・電極・光学部材の高純度アニール/封止 など ※詳しくは、お気軽にお問い合わせください。
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企業情報
当社は、「電気」「設備」「化学」の三つの技術を独自のノウハウで 融合させ、革新的な加熱炉、その他設備を開発している会社です。 独自の高温電気炉技術を活かしカーボン炉やマルチ雰囲気炉、メタル炉、 塩素炉など様々な電気炉(加熱炉)を取り扱っております。 単なる設備メーカーではなく、10年先のスタンダードを見据え、お客様と 共にモノづくりを革新的な熱でサポートする、戦略的開発パートナーです。
