セラミックスと金属の気密封着を、高純度雰囲気で実現。
半導体業界では、製品の信頼性と長期的な性能維持のために、封止工程における気密性が非常に重要です。特に、温度変化や外部環境からの影響を受けやすい半導体デバイスにおいては、封止材と金属・セラミックス材料間の強固な接合が求められます。不適切な封止は、デバイスの故障や性能劣化につながる可能性があります。メタル炉は、高真空かつ清浄な雰囲気を提供することで、セラミックスと金属の熱膨張差を制御しながら、強固な封着を実現します。これにより、半導体デバイスの信頼性向上に貢献します。 【活用シーン】 ・薄膜・電極・光学部材の高純度アニール ・セラミックスと金属の封止 【導入の効果】 ・低O2/H2O/HC環境による、濡れ性・界面強度・気密性の安定化 ・炭素フリー環境による、汚染・炭化の防止 ・真空、還元雰囲気の迅速な切替による、試作～量産サイクルの短縮
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基本情報
【特長】 ・高真空(10^-5Pa級)～還元雰囲気運転対応 ・金属炉構造(Mo/W)で清浄雰囲気を維持 ・金属治具や荷重加圧機構との組合せが容易 ・試料の小型化・局所加熱試験にも対応 【当社の強み】 当社は、「電気」「設備」「化学」の三つの技術を融合させ、革新的な加熱炉を開発しています。10年先のスタンダードを見据え、お客様と共にモノづくりを革新的な熱でサポートする、戦略的開発パートナーです。
価格情報
※装置仕様によって価格が変動するため、詳しくはお気軽にお問合せください。
納期
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用途／実績例
【応用例】 ■セラミックス-金属の封着/ろう付け/拡散接合 ■薄膜・電極・光学部材の高純度アニール/封止 など ※さらに詳しい情報については資料をダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
カタログ（3）
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企業情報
当社は、「電気」「設備」「化学」の三つの技術を独自のノウハウで 融合させ、革新的な加熱炉、その他設備を開発している会社です。 独自の高温電気炉技術を活かしカーボン炉やマルチ雰囲気炉、メタル炉、 塩素炉など様々な電気炉(加熱炉)を取り扱っております。 単なる設備メーカーではなく、10年先のスタンダードを見据え、お客様と 共にモノづくりを革新的な熱でサポートする、戦略的開発パートナーです。
