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セラミックスと金属の気密封着を、高純度雰囲気で実現。
研究機関における実験では、高品質な試料作製が求められます。特に、セラミックスと金属の接合においては、微量な酸素や水分、炭化水素が、接合の品質や気密性に悪影響を及ぼす可能性があります。メタル炉は、高真空かつ清浄な雰囲気を提供することで、これらの課題を解決します。 【活用シーン】 ・薄膜・電極・光学部材の高純度アニール ・セラミックスと金属の接合実験 ・各種材料の熱処理実験 【導入の効果】 ・接合部の強度と気密性の向上 ・実験の再現性の向上 ・高品質な試料作製による研究成果の向上
セラミックスと金属の熱膨張差を制御しながら、クリーン雰囲気で強固に封着
当社では、全金属ホットゾーンの「メタル炉」を取り扱っております。 接合(封着・ろう付け・拡散接合)では、微量O2/H2O/炭化水素が 濡れ性・界面反応・気密に直結。メタル炉は真空10^-5Pa級＋(Mo/W) ホットゾーンで、炭素・有機由来の汚染源を排除します。 薄膜・電極・光学部材の高純度アニール/封止などに応用可能です。 【特長】 ■高真空(10^-5Pa級)～還元雰囲気運転対応 ■金属炉構造(Mo/W)で清浄雰囲気を維持 ■±1℃以内の温度均一性と長期安定制御 ■金属治具や荷重加圧機構との組合せが容易 ■試料の小型化・局所加熱試験にも対応 ※さらに詳しい情報については資料をダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
