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メタル炉(製作) - List of Manufacturers, Suppliers, Companies and Products

メタル炉 Product List

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メタル炉<汚染を抑えた高純度アニールをよりコンパクトに>

金属雰囲気を活かしたクリーンな加熱環境で、金属粉・薄膜材料の特性を最大限に引き出す

当社で取り扱う「メタル炉」は、小型・密閉構造のため、研究室・ 分析室レベルでも安全に設置可能です。 触媒担体や導電材料の還元処理、スパッタターゲット材・焼結体前処理の 高純度熱処理、高温での酸化・拡散・析出挙動の基礎研究などの用途に好適。 テスト機もご用意いたしております。 また、小型機以外にも量産スケールの炉も製作可能です。 【特長】 ■炉材に金属(Mo/W/ステンレス等)を採用し、カーボン由来の汚染を抑制 ■真空雰囲気~還元雰囲気(H₂/N₂/Ar)まで対応し、高純度環境での熱処理が可能 ■高精度な温度制御(~1800℃)により、薄膜や微粒子のアニール条件を正確に再現 ■小型・密閉構造のため、研究室・分析室レベルでも安全に設置可能 ■量産機へのスケールアップ実績あり  (サーモニックENGでは大型メタル炉の製造実績もあり) ※詳しくは、お気軽にお問い合わせください。

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メタル炉<カーボンフリーの“メタル雰囲気">

材料本来の反応をそのまま観る!黒鉛部材を一切使わないチャンバーで、炭素由来の副反応や汚染を抑制

当社で取り扱う「メタル炉」は、評価したいのは材料そのものの表面反応・ 相変化だが、黒鉛部材や有機材のアウトガス/炭素源が系を乱すことがある などといった課題を解決します。 ハロゲン・窒化・還元など化学雰囲気が敏感なプロセスは、カーボンフリー の方が再現性が高く、だからこそ、内壁・ヒータ・治具まで金属で統一した メタル炉が有効です。 当社では、テスト機もご用意いたしております。 また、小型機以外にも量産スケールの炉も製作実績があります。 【特長】 ■カーボンフリー ・全金属(Mo/W)ホットゾーン/金属チャンバー、黒鉛・有機材不使用で  炭素由来の副反応を抑制 ■クリーンな雰囲気切替 ・真空→Ar/N2の切替がスムーズ、置換後のブランクが低い ■反応の再現性 ・小型チャンバーで同一条件を短サイクルに再現 ※詳しくは、お気軽にお問い合わせください。

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