モニターコントローラ(自動制御) - 企業1社の製品一覧

蒸着モニター / コントローラー （膜厚計）

精密で安定な蒸着をお手伝いいたします

最新テクノロジーによる水晶膜厚モニタをベースに、レートや膜厚の監視、コントロール、蒸着シーケンスの制御を行います。高分解能で高速な計測による精密で安定な蒸着が可能です。拡張性、汎用性に優れた設計で、様々な用途に対応可能です。

• 企業：VISTA株式会社
• 価格：50万円 ~ 100万円

• その他プロセス制御
• 真空機器
• その他表面処理装置