クリーンルーム対応 モバイルロボットシステム「HERO Fab」
クリーンルーム対応 モバイルロボットシステム「HERO Fab」
半導体製造の前工程において多数の採用実績があるロボットシステムでクリーン度の求められる環境でもオートメーションを実現します。同一空間で作業する人への衝突を防ぐ安全機構を備えます。(搬送対象例:MRSP、RSP、foup、HA200 box、Smif pod 等)
- 企業:株式会社ブルックスジャパン 福岡本社、東京支店
- 価格:応相談
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クリーンルーム対応 モバイルロボットシステム「HERO Fab」
半導体製造の前工程において多数の採用実績があるロボットシステムでクリーン度の求められる環境でもオートメーションを実現します。同一空間で作業する人への衝突を防ぐ安全機構を備えます。(搬送対象例:MRSP、RSP、foup、HA200 box、Smif pod 等)