バルジ測定器 薄膜ヤング率測定装置
バルジ測定器 薄膜ヤング率測定装置
薄膜に均一に応力を加え、その歪み量を計測することで薄膜のヤング率を測定 光ヘテロダイン変位計の汎用性の高い特性を生かした、バルジ測定器 【特徴】 ○PCでヘテロダイン変位計、ポンプ操作、弁操作を行い、データを取得 取得したデータによりカーブフィット作業を行い、ヤング率および内部応力を求める ○非接触かつ高精度に計測 ○全自動で測定し、繰り返し測定も簡単 ○薄膜固定部の取り替えで様々な薄膜に対応 ○変位量分解能：1nm（HV400使用時）、10nm（HV250使用時） ○圧力測定分解能：0.1Torr ○最大付加圧力：-300Torr ○最大試料径：15cm ○測定領域試料最大径：50mm ○測定モード：全自動モードまたはマニュアルモード ○真空系・ステージ系などの変更により自動制御性 応力範囲など仕様はユーザの要求に合わせてカスタマイズする事が可能 ●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。
- 企業：株式会社フォトンプローブ
- 価格：応相談
