バルジ測定器 薄膜ヤング率測定装置
薄膜に均一に応力を加え、その歪み量を計測することで薄膜のヤング率を測定 光ヘテロダイン変位計の汎用性の高い特性を生かした、バルジ測定器 【特徴】 ○PCでヘテロダイン変位計、ポンプ操作、弁操作を行い、データを取得 取得したデータによりカーブフィット作業を行い、ヤング率および内部応力を求める ○非接触かつ高精度に計測 ○全自動で測定し、繰り返し測定も簡単 ○薄膜固定部の取り替えで様々な薄膜に対応 ○変位量分解能：1nm（HV400使用時）、10nm（HV250使用時） ○圧力測定分解能：0.1Torr ○最大付加圧力：-300Torr ○最大試料径：15cm ○測定領域試料最大径：50mm ○測定モード：全自動モードまたはマニュアルモード ○真空系・ステージ系などの変更により自動制御性 応力範囲など仕様はユーザの要求に合わせてカスタマイズする事が可能 ●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。
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基本情報
薄膜に均一に応力を加え、その歪み量を計測することで薄膜のヤング率を測定 光ヘテロダイン変位計の汎用性の高い特性を生かした、バルジ測定器 【特徴】 ○PCでヘテロダイン変位計、ポンプ操作、弁操作を行い、データを取得 取得したデータによりカーブフィット作業を行い、ヤング率および内部応力を求める ○非接触かつ高精度に計測 ○全自動で測定し、繰り返し測定も簡単 ○薄膜固定部の取り替えで様々な薄膜に対応 ○変位量分解能：1nm（HV400使用時）、10nm（HV250使用時） ○圧力測定分解能：0.1Torr ○最大付加圧力：-300Torr ○最大試料径：15cm ○測定領域試料最大径：50mm ○測定モード：全自動モードまたはマニュアルモード ○真空系・ステージ系などの変更により自動制御性 応力範囲など仕様はユーザの要求に合わせてカスタマイズする事が可能 ●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。
価格情報
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納期
用途／実績例
【用途】 ○ヤング率、粘性、剛性率等の材料特性評価 ○基盤材、有機材等の新材料開発
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企業情報
”光で物理量を高精度の計測”を経営方針として掲げています。 現代の最先端技術には光計測技術が欠かせない要素となっています。高精度計測の要求は科学の発展と共に、強くなると確信しております。その高精度計測を光の持つ、無侵襲・無誘導・非接触・高精度、の優れた性質と合わせることで更なる技術革新が期待できるのです。大量生産品の計測には向きませんし、オンラインでの計測にも向かないでしょう。しかし、物理量の高精度計測を必要とする最先端産業にこそ役立てるものと日々努力しております。
