半導体プロセスガス用 インラインフィルター
短納期対応可能！高純度ガス用インラインガスフィルター！
半導体製造プロセスガス向けに開発。 複雑な流路による優れた除去効果と低圧力損失を実現！ 高い除粒子効果及び、ろ過精度でガス置換特性・耐圧性・耐腐食性に優れています。 フィルターエレメントは、2種類。 ・SUS316L材金属焼結タイプ ・PTFE膜タイプ をガス種に応じて選定いただけます。 メーカーカタログには、ガス種に応じた対応一覧を掲載しておりますので 機器選定にご利用ください。 【特 長】 ・100% Heリーク試験済（1.0×10^-9 atm・cc /sec） ・100% パーティクル試験済（0.0025μｍ以上が未検出） ・クラス100クリーンルームにて製造・試験・梱包 ・広い流量範囲（15～9 000SPLM）から選択可能 ・メタルフェイスシール（MFS）継手、ダブルフェルールチューブ継手 現在、他社製品をお使いのお客様は、用途または、他社品番をお知らせいただければ、相当品をご提案いたします！是非お問合せください。 ※PDFダウンロード時に表示される『興味を持ったきっかけ』の欄は 株式会社イプロスのAIによって表示されております。
- 企業：バリューインパクト有限会社
- 価格：応相談
