短納期対応可能！高純度ガス用インラインガスフィルター！
半導体製造プロセスガス向けに開発。 複雑な流路による優れた除去効果と低圧力損失を実現！ 高い除粒子効果及び、ろ過精度でガス置換特性・耐圧性・耐腐食性に優れています。 フィルターエレメントは、2種類。 ・SUS316L材金属焼結タイプ ・PTFE膜タイプ をガス種に応じて選定いただけます。 メーカーカタログには、ガス種に応じた対応一覧を掲載しておりますので 機器選定にご利用ください。 【特 長】 ・100% Heリーク試験済（1.0×10^-9 atm・cc /sec） ・100% パーティクル試験済（0.0025μｍ以上が未検出） ・クラス100クリーンルームにて製造・試験・梱包 ・広い流量範囲（15～9,000SPLM）から選択可能 ・メタルフェイスシール（MFS）継手、ダブルフェルールチューブ継手 現在、他社製品をお使いのお客様は、用途または、他社品番をお知らせいただければ、相当品をご提案いたします！是非お問合せください。 ※PDFダウンロード時に表示される『興味を持ったきっかけ』の欄は 株式会社イプロスのAIによって表示されております。
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基本情報
【仕 様】 粒子捕捉率 ：99.9999999% ろ過精度 ：0.0025μｍ ハウジング ：SUS316L（シングルメルト材 / ダブルメルト材） エレメント ：金属焼結タイプ、PTFE膜タイプ 内面仕上げ ：≦ Ra 5μ inch（0.127μｍ） 多孔率 ：60～70%（単位面積当たりの隙間の割合） 接続形状 ：メタルフェイスシール（MFS継手：VCR相当）、ダブルフェルール継手 流量範囲 ：15～9,000SLPM 最高使用圧力 ：～21MPa（20℃時）：エレメント金属焼結タイプ ：～0.98MPa（20℃時）：エレメントPTFE膜タイプ ●その他詳細は、カタログをダウンロード、もしくはお問い合わせください。
価格情報
【エレメント：SUS316L金属焼結】 定格流量：60SLPM、1/4"VCRタイプ SS-A60-4VM 16,310円 定格流量：600SLPM、1/2"VCRタイプ SS-H600-8VM 42,660円 【エレメント：PTFE膜】 定格流量：50SLPM、1/4"VCRタイプ ST-A50-4VM 22,580円 定格流量：1500SLPM、3/4"VCRタイプ ST-C1500-12VM 174,540円 上記以外のサイズ、接続などの各種ラインナップもございます。
納期
※数量によって納期が変動しますので、お気軽にお問い合わせください。
用途／実績例
【用途】半導体製造用プロセスガス向け 【実績】半導体製造装置、ガス供給設備、ガスBOXなどのガス制御システム
カタログ（3）
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企業情報
私達、バリューインパクト有限会社は、価値（value）にインパクト（impact）がある商品・サービスをご提供し、お客様の競争力強化、事業成長、シェア拡大を実現することを事業目的に創業しました。その商品・サービスの一つが海外メーカーより調達する流体制御機器および、配管部品です。各社とも コストパフォーマンスに優れ、且つお客様が要求される高次元の品質を実現しております。弊社は、日本地区の販売会社としてお客様にフィットする商品のご提案と充実したカスタマーサポートをお約束いたします。そして、これからも世界中から価値ある製品を発見し、評価、供給し、事業目的の実現へ邁進していきます。 弊社では、2017年、横浜市内に横浜技術センターを開設いたしました。 当センターでは、弊社輸入製品の実験（動作・機能確認など）や組み立て作業など行います。更なるサービスの向上を目指して、当センターにてガス配管の製作やバルブボックス、シリンダーキャビネットなどの設計・製作も対応いたします。 ※PDFダウンロード時に表示される『興味を持ったきっかけ』の欄は 株式会社イプロスのAIによって表示されております。
