大型ラビング装置/ラビング装置
G5・G6・G7・GB基板対応 大型ラビング装置/ラビング装置
本装置は、ガラス基板上の配向膜を所定の条件にて、 ラピングを行うインライン装置です。 ガラス基板の大型化に伴い、ギャップ精度、回転ムラ、振動、静電気等の基本特性、タクトタイム、 メンテナンス性等の運動特性が 損なわれないよう、設計製造され、均一で安定したラピングを可能としました。
- 企業:常陽工学株式会社
- 価格:応相談
1~2 件を表示 / 全 2 件
G5・G6・G7・GB基板対応 大型ラビング装置/ラビング装置
本装置は、ガラス基板上の配向膜を所定の条件にて、 ラピングを行うインライン装置です。 ガラス基板の大型化に伴い、ギャップ精度、回転ムラ、振動、静電気等の基本特性、タクトタイム、 メンテナンス性等の運動特性が 損なわれないよう、設計製造され、均一で安定したラピングを可能としました。
液晶ディスプレイ製造工程で培った技術を生かし、高精度な『ラビング』技術を提供します。World wideでのシェアは80%。
【技術の特徴】 1.均一に擦る ・独自の『逆クラウン加工』により、ローラーの撓み量を10μm以下に加工 ・『擦る』際の摩擦力をトルク値として検出し、一定のトルク値となるよう自動補正 2.大型ワークを擦る ・特殊加工された鋳物ステージベースの採用により、大型ステージでも変形量を最小化 ・3 000mm×6 000m対応の超大型研磨機で、ステージ平面度を20μm以下に研削加工 3.任意の角度で擦る ・ローラーとステージの角度を、0.1°単位で設定することが可能 ・2 550mm×2 550mm(総重量2 500kg)の超大型回転ステージを製作