光学特性をリアルタイムに測定「真空エリプソメーター蒸着装置」
真空蒸着中に光学特性をリアルタイムに測定できるエリプソメトリー用蒸着装置
当社では、蒸着中の薄膜の光学特性をリアルタイムに測定することが可能な 「真空エリプソメーター蒸着装置」の設計・製造・販売しております。 【蒸着装置部・主要仕様】 ○本体・チャンバー →蒸着室寸法：280mm（幅）×290mm（奥行き）×410mm（高さ） →エリプソメーター取り付けフランジ：角度選択可能 100°/120°/140° →アルミニウム製扉：覗き窓（有効可視径：φ96mm） →外部フィードスルー用ポート（NW40）3ポート →真空廃棄ポート（NW40）1ポート ○基板ホルダー構造 →最大基板サイズ：φ110mm →基板加熱もしくは基板冷却構造
- 企業：株式会社エイエルエステクノロジー
- 価格：応相談
