真空蒸着中に光学特性をリアルタイムに測定できるエリプソメトリー用蒸着装置
当社では、蒸着中の薄膜の光学特性をリアルタイムに測定することが可能な 「真空エリプソメーター蒸着装置」の設計・製造・販売しております。 【蒸着装置部・主要仕様】 ○本体・チャンバー →蒸着室寸法：280mm（幅）×290mm（奥行き）×410mm（高さ） →エリプソメーター取り付けフランジ：角度選択可能 100°/120°/140° →アルミニウム製扉：覗き窓（有効可視径：φ96mm） →外部フィードスルー用ポート（NW40）3ポート →真空廃棄ポート（NW40）1ポート ○基板ホルダー構造 →最大基板サイズ：φ110mm →基板加熱もしくは基板冷却構造
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【用途】 ○in-situ エリプソメトリー用蒸着装置として ●詳しくはお問い合わせください。
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企業情報
弊社は大学研究室や一般企業の研究室にてご使用いただく研究用の真空機器を 製造販売する会社として、顧客満足度の高い装置をご提供するべく設立いたしました。 私達がこれまでに蓄積してきた真空技術の設計技術、薄膜プロセス技術等を十分に生かし、 ご使用になる研究者の皆様の立場から最適な装置を設計製造させて頂きます。 真空装置はその特性から、家庭電化製品等の一般消費財と比較して高価な製品です。 信頼性の高い高品質な装置・部品を皆様に安くご提供するために以下の努力をいたします。 ●すべての真空装置はお客様の御仕様を元に、十分な意見交換をさせていただいた後、最適な設計を行います。 ●１つの真空部品から、高性能真空装置まで幅広く取り扱い、皆様のニーズに幅広く対応いたします。 ●積極的にリサーチを行い、より良い真空部品をグローバルな視点で集め、装置に利用いたします。 ●お客様がお持ちの真空装置を有効活用するため、改造のご相談、製作に高度な技術が必要となる真空部品・装置の製作をお手伝いします。 ●ご予算に合わせ、中古装置の改造、中古ユニットの使用等により、性能を維持しかつ価格低減を図ります。
