リソグラフィ用シミュレーション - メーカー・企業と業務用製品 | イプロスものづくり

リソグラフィシミュレーション

レジストに像が形成される過程をコンピュータ上に再現！好適なプロセス条件を効率的に発見

「リソグラフィ・シミュレータ」とは、露光装置の振る舞いと レジスト(感光性を持つ有機材料)の振る舞いを計算するツールです。 実際のプロセスにおけるパラメータを入力することにより、レジストに 像が形成される過程をコンピュータ上に再現し、好適なプロセス条件を 効率的に見つけることが可能。 シミュレータには、実際のリソグラフィ・プロセスと同様さまざまな 設定を行なうことができます。 【光学系 入力】 ■照明形状 ■コヒーレンス・ファクタ ■マスクパターン ■マスクの要素属性 ■開口数・フォーカス ■収差・フレア ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。