リソグラフィ用シミュレータ - メーカー・企業と製品の一覧

リソグラフィシミュレータ　PROLITH

Virtual Lithography Simulator

リソグラフィ・シミュレータは、数値計算により、露光光学系による結像およびフォトレジストの感光・現像の過程をコンピュータ上に表現し、現像後のフォトレジストの形状を算出します。リソグラフィの研究、開発、そして製造に欠かすことのできないツールとなっています。

• 企業：リソテックジャパン株式会社
• 価格：応相談

• 分光分析装置
• その他基幹システム