リークバルブ(真空チャンバー) - 企業1社の製品一覧

高性能バリアブルリークバルブ ＺLVMシリーズ

バックラッシュを最小に抑え再現性よく高精密なガスコントロールを実現。

高性能バリアブルリークバルブ ＺLVMシリーズはガス源から真空チャンバー内にガスを導入する際に、微小なガスフローを制御するために使用します。バックラッシュを最小に抑え、ナイフエッジと銅合金パッドの材質・構造を工夫することにより、再現性よく、高精密なガスコントロールを実現しました。詳しくはお問い合わせください。

• 企業：丸菱実業株式会社
• 価格：応相談

• バルブ