バックラッシュを最小に抑え再現性よく高精密なガスコントロールを実現。
高性能バリアブルリークバルブ ＺLVMシリーズはガス源から真空チャンバー内にガスを導入する際に、微小なガスフローを制御するために使用します。バックラッシュを最小に抑え、ナイフエッジと銅合金パッドの材質・構造を工夫することにより、再現性よく、高精密なガスコントロールを実現しました。詳しくはお問い合わせください。
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基本情報
【主な特長】 ○ガス源から真空チャンバー内にガスを導入する際、 微小なガスフローを制御する ○再現性よく高精密なガスコントロールを実現 →バックラッシュを最小に抑え、ナイフエッジと銅合金パッドの 材質・構造を工夫することにより再現性よく、高精密な ガスコントロールを実現 ○調節範囲：1×104 ～ 1×109 Pa ○フランジ：ICF34回転or固定、ICF70回転or固定 ●詳しくはお問い合わせください。
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企業においても、合理化、省力化の波に技術革命が進み、より微細化、より高度化、より多様化が求められています。そのような中で、弊社は常に時代の変化を半歩先取りし若さと汗と能力を結集させ、独創的な発想と、きめ細かいサービスとExcellent Confidence（素晴らしい自信と信頼感）を素に、Electronics Marketing Corporationとして、社会の発展に貢献したいとの意欲に燃えております