極微小リーク分析
極微小リーク量の測定が求められる自動車用のMEMSセンサーデバイスをご紹介！
刻々と変化している自動車を取り巻く環境の中で自動車用エレクトロニクス としてのMEMSセンサーデバイスは非常に重要品となり、高い信頼性を 求められるものとなっております。 MEMSセンサーデバイス(封止デバイス)への気体混入(リーク)は僅かでも 劣化し信頼性を著しく損なう可能性があります。 信頼性を担保するためには、破壊試験による10^-15Pa・m3/s(He)の 極微小リーク計測が求められます。 【多く使用される自動車エレクトロニクス(抜粋)】 ■空気流量計 ■アクセルセンサ ■圧力センサ ■ステアリングセンサ ■ミリ波レーダー ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：東京電子株式会社
- 価格：応相談
