ハーシュプロセス向け多段ルーツポンプ「UltiDry」
Pfeiffer社のハーシュプロセス向け最新ドライポンプ
世界の半導体製造現場で実績を積むPfeiffer社(*1)製品から、最新のハーシュプロセス向けドライ真空ポンプ 【特徴】 ○持続可能、堅牢 ○多用途 ○省エネルギー ◯高吸気流量に対応 ○効率的なドライルーツ式 ＊1：PfeifferはBUSCH GROUPの1社です。BUSCH GROUPはBusch Vacuum Solutions、Pfeiffer Vacuum+Fab Solutions、centrotherm clean solutionsの3社から成るグローバル企業です。
- 企業：日本ブッシュ株式会社
- 価格：応相談
