ルーツポンプ(真空) - 企業2社の製品一覧

【高効率でコンパクト】ルーツポンプ RUVAC WH/WHU

革新的なモータ技術でエネルギーコストを抑え、効率クラス１を取得。

RUVAC WHシリーズは、シャフトシールが無い密閉シールモータと内蔵式の水冷装置を装備しています。さらに腐食性ガスおよび有毒ガスの排気用にパージガスオプションも備えています。 WHU型は新開発の制御フラップを内蔵したバイパスラインを装備しています。これによりポンプを大気圧から始動でき、短いサイクル運転における排気時間を大幅に短縮できます。・コンパクト設計で最小限の設置スペース・システムの統合が容易・最適な価格性能比、高い排気速度（オプションで70HZ; 9800m3/h達成）・狭いシステム内で設置可能な統合水冷システム・密閉シールモータとパージガスオプションで有毒ガスや腐食性ガスにも使用可能。・大気側にシャフトシールが無く、高い信頼性と長いサービスインターバル。オイル洩れなし。 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

企業：ライボルト株式会社
価格：応相談

真空ポンプ

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ルーツポンプ　RUVAC WA(U) / WS(U)シリーズ

真空性能を向上させるメカニカルブースターポンプ

信頼性、安全性、堅牢性を備えたメカニカルブースターポンプ。ドライポンプまたはロータリーベーンポンプと組み合わせて使用することで、フォアバキュームポンプの動作圧力範囲を拡張します。

企業：ライボルト株式会社
価格：応相談

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ハーシュプロセス向け多段ルーツポンプ「UltiDry」

Pfeiffer社のハーシュプロセス向け最新ドライポンプ

世界の半導体製造現場で実績を積むPfeiffer社(*1)製品から、最新のハーシュプロセス向けドライ真空ポンプ【特徴】 ○持続可能、堅牢 ○多用途 ○省エネルギー ◯高吸気流量に対応 ○効率的なドライルーツ式＊1：PfeifferはBUSCH GROUPの1社です。BUSCH GROUPはBusch Vacuum Solutions、Pfeiffer Vacuum+Fab Solutions、centrotherm clean solutionsの3社から成るグローバル企業です。