クリーンルーム内部機器『横型全自動レチクルストッカー』
棚受けはデルリン樹脂成型加工品を使用!パソコン内蔵のため、自社開発のソフトが豊富
当社が取り扱う、クリーンルーム内部機器『横型全自動レチクルストッカー』を ご紹介します。 自社開発のクラス1対応多関節アーム式ロボットを採用(超低発塵機構、絶対値 制御式サーボモータ、CCDカメラ搭載による位置補正、品種管理が可能)。 また、レチクルケースはニコン製・キャノン製の6inchのほか5inchレチクルケース、 SMIFケース等特殊ケースにも対応できます。 【特長】 ■棚前面にULPAフィルターを装着しレチクルケースはフィルター直下にストック ■ケース入出庫時の衝撃防止のため、棚受けはデルリン樹脂成型加工品を使用 ■自動搬送装置にセット出来るほか、手動、AGV装置によっても入出庫が可能 ■パソコン内蔵のため、自社開発のソフトが豊富 ■お客様のホストコンピューターとのリンクも可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業:日本エアーテック株式会社 本社
- 価格:応相談