レーザーマーキング装置×兼松ＰＷＳ株式会社 - 企業1社の製品一覧

InnoLas(イノラス)社製ウェーハ用レーザーマーキング装置

InnoLas社で開発されたウェーハマーキング用レーザー光源は、10年程度使い続けられる（実績値）低廉なランニングコストを実現。

マーキング可能なウェーハ素材：シリコン(Si)、ゲルマニウム(Ge)、サファイヤ(Al2O3)、タンタル酸リチウム(LiTaO3)、ニオブ酸リチウム（LiNbO3）、ガリウム砒素8GaAs)、窒化ガリウム(GaN)、炭化シリコン(SiC)、リン酸インジウム(InP)、ガラス等、様々なウェーハ素材に対応する為、下記のレーザーをご用意しています。・UV(355nm)、グリーン(532nm)、IR(1064nm)、IR 炭酸ガス(10.6μm)をご用意しています。オプション・電動ビームエキスパンダー (MBE) : レシピのデーターに合わせてビーム　径、焦点位置等を調整。・消費電力等表示パネル (DCM) : ライン電源、ガルボ電圧/温度、圧縮空気　圧等を一か所に集約して表示。・その他、ユーザーフレンドリーな多彩なオプションをご用意。