ロードロックハッチ EDシリーズ
ロードロックハッチ EDシリーズ
真空システムにサンプル等を 導入するために使用するロードロックドア 【特徴】 ○小型軽量化した設計により取り付け場所を選ばない ○フッ素ゴムシールにより高真空に対応 ○150℃までのベーキングが可能 ○φ114〜φ305ＣＦに直接取り付けることが可能 ○各サイズ窓付き、窓なしタイプがあり 窓材は石英ガラスなどがオプション選択できる ○JISフランジや特殊フランジ形状の製作も可能 ●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。
- 企業：アリオス株式会社
- 価格：応相談
