*スピニングローター真空計/スピニングローターゲージ
「優れた測定精度」、「高い堅牢性」を兼ね備えた真空計
スピニングローターゲージ(SRG)システムは、測定ヘッド、制御/読み出しユニット、圧力センサーとして機能する4.5mmボールベアリングボールを含むステンレススチール製測定管で構成されています。 測定ヘッドには、浮上、振動減衰、加速、センサーボールの速度感知に必要な磁石とコイルシステムが含まれており、温度センサーも搭載されています。 測定管の一端は密閉されており、他端は溶接またはフランジ接続によって真空チャンバーに取り付けます。センサーは、外部への機械的または電気的なフィードスルーを必要としません。 測定には、センサーボールを磁場によって浮上させ、600 rps以上の速度まで加速、その後惰性で回転、測定管内の入射ガス分子からの接線方向の運動量移動による抗力(分子抗力)を受けることによるセンサーボールの減速率を利用します。
- 企業:伯東株式会社 本社
- 価格:応相談