一括検知(センサ) - メーカー・企業と業務用製品 | イプロスものづくり

マクロ検査装置｜ウエハの異物・膜ムラ・欠陥を高速一括検知

12インチウエハを7秒で撮像。解像せず欠陥を捉える独自光学系で、検査タクトを業界標準の1/4に短縮し全数検査を実現。

スミックス株式会社は、半導体業界の検査工程に革新をもたらす「マクロ光学検査」の専門メーカーです。 「解像度を上げると視界が狭まり、検査時間を要する」という業界の常識を、独自の光学系と自社開発ラインセンサカメラで打破。 12インチウエハをわずか7秒で撮像する、業界標準比4倍の超高速検査を実現しました。 【提供ソリューション】 ■ウエハ上の0.1μm異物を捉える「暗視野光学系」 ■ナノレベルの表面歪みを可視化する「オフアキシス光学系」 ■膜厚やパターンサイズの変化を定量化する「計測相関技術」 これら先進の光学技術を「検査モジュール」として提供し、半導体・装置メーカー様の競争力向上に貢献します。 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。 ※実機での評価依頼を受付中。1回目のサンプル評価は無償にて承ります。