12インチウエハを7秒で撮像。解像せず欠陥を捉える独自光学系で、検査タクトを業界標準の1/4に短縮し全数検査を実現。
スミックス株式会社は、半導体業界の検査工程に革新をもたらす「マクロ光学検査」の専門メーカーです。 「解像度を上げると視界が狭まり、検査時間を要する」という業界の常識を、独自の光学系と自社開発ラインセンサカメラで打破。 12インチウエハをわずか7秒で撮像する、業界標準比4倍の超高速検査を実現しました。 【提供ソリューション】 ■ウエハ上の0.1μm異物を捉える「暗視野光学系」 ■ナノレベルの表面歪みを可視化する「オフアキシス光学系」 ■膜厚やパターンサイズの変化を定量化する「計測相関技術」 これら先進の光学技術を「検査モジュール」として提供し、半導体・装置メーカー様の競争力向上に貢献します。 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。 ※実機での評価依頼を受付中。1回目のサンプル評価は無償にて承ります。
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企業情報
スミックス株式会社は、マクロ光学検査を専門とする装置開発・製造・販売会社です。CDとの相関が高いマクロ検査や、3nmのサイズ変化をマクロ的に捉えること、鏡面のウェハーの凸凹を可視化などが可能です。当社のマクロ検査を導入する事で、お客様にはより効率的にコスト競争力のある検査工程を確立して頂けます。マクロ光学検査のことなら当社にお任せ下さい。
