スミックスの製品ラインアップ

製造業の品質管理においては、製品の信頼性を確保するために、製造工程における微細な欠陥や異常を早期に発見することが重要です。特に、半導体、液晶、NILなどの分野では、製品の性能に直結する微細なムラや凹凸の検出が不可欠です。これらの欠陥を見逃すと、製品の不良や性能低下につながり、コスト増につながる可能性があります。スミックス株式会社の光学検査装置は、CDとの相関が高いマクロ検査により、これらの課題を解決します。 【活用シーン】 ・パターン均一性評価 ・高感度な膜厚均一性評価 ・凹凸・傷欠陥検査 【導入の効果】 ・検査工程の効率化 ・高感度な検査による品質向上 ・コスト競争力の強化

• その他光学部品

半導体業界の品質管理において、ウエハ表面の微細な欠陥の検出は、製品の信頼性を左右する重要な要素です。目視や顕微鏡検査では見逃しがちなナノレベルの凹凸やキズは、歩留まりの低下や製品不良の原因となります。本ユニットは、オフアキシス光学系とエッジ反射光検出により、これらの微細な欠陥を広域で捉え、検査工程の効率化と品質管理の精度向上に貢献します。 【活用シーン】 ・ウエハ表面の品質検査 ・製造工程における異常の早期発見 ・品質管理部門での検査業務 【導入の効果】 ・検査時間の短縮 ・不良品の削減 ・品質管理コストの削減

• その他光学部品

スミックス株式会社は、半導体業界の検査工程に革新をもたらす「マクロ光学検査」の専門メーカーです。 「解像度を上げると視界が狭まり、検査時間を要する」という業界の常識を、独自の光学系と自社開発ラインセンサカメラで打破。 12インチウエハをわずか7秒で撮像する、業界標準比4倍の超高速検査を実現しました。 【提供ソリューション】 ■ウエハ上の0.1μm異物を捉える「暗視野光学系」 ■ナノレベルの表面歪みを可視化する「オフアキシス光学系」 ■膜厚やパターンサイズの変化を定量化する「計測相関技術」 これら先進の光学技術を「検査モジュール」として提供し、半導体・装置メーカー様の競争力向上に貢献します。 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。 ※実機での評価依頼を受付中。1回目のサンプル評価は無償にて承ります。

• その他光学部品

レジストコーティング工程における膜厚の不均一性（膜ムラ）を、定量的に可視化・管理するための光学システムです。 独自の「OASフィルタ」を用いた薄膜強調処理により、従来の目視検査では判定が困難だった微細なムラを鮮明に映し出します。 【活用シーン】 ■レジストコーターの日常管理・条件出し ■アクセル回転数やTimeの違いによるムラ発生の定量観察 ■レジストLot変更時の品質チェック レジストディスペンス時のわずかな条件差をマクロ画像で把握できるため、プロセス開発のスピードアップと安定稼働を支援します。 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。 ※実機での評価依頼を受付中。1回目のサンプル評価は無償にて承ります。

• その他光学部品

ウエハ上のパターン寸法のバラツキを、非破壊・超高速にモニタリングする検査モジュールです。 従来、SEM（走査電子顕微鏡）で時間をかけて計測していたパターンサイズの変動を、マクロ画像の輝度情報として可視化します。 露光工程やエッチング工程における「装置固有のムラ」や「経時変化」をリアルタイムで監視可能。 微細化が進む次世代デバイスの歩留まり改善に大きく貢献します。 【技術的特長】 ■測長SEMデータと極めて高い相関（R²=0.964）を確認済み ■チップ内の特定エリアだけでなく、ウエハ全面の分布を一括把握 ■テレセントリシティを最適化した光学系による高精度な観察 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。 ※実機での評価依頼を受付中。1回目のサンプル評価は無償にて承ります。

• その他光学部品

Si、SiC、GaNなどのウエハ表面に存在する、目視や顕微鏡では捉えにくい微細な凹凸・キズ・歪みを可視化するユニットです。 スミックス独自の「オフアキシス光学系」を採用し、表面の傾斜角による光の反射変化（エッジ反射光）を鋭敏に検出します。 【可視化できる欠陥】 ■ナノレベルの表面凹凸や結晶欠陥 ■スラリー残渣や微細なスクラッチ ■ダイシング後のチッピングやクラック 顕微鏡によるサンプリング検査では見逃しがちな広域の「違和感」を、マクロ画像として一目で把握可能。 これにより、検査工程のボトルネックを解消し、品質管理の精度を飛躍的に高めます。 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。 ※実機での評価依頼を受付中。1回目のサンプル評価は無償にて承ります。

• その他光学部品

半導体ウエハ上の微小異物検査に特化したマクロ検査モジュールです。 高解像度カメラでは視界が狭く時間を要する検査を、スミックス独自の「異物検査専用・暗視野光学系」で劇的に高速化します。 【主な特長】 ■0.2μmレベルの微小異物（PSL）を確実に可視化 ※0.1μm開発中 ■ミー散乱光の検出により、解像に頼らず異物を特定 ■12インチウエハを最短7秒でスキャンする圧倒的タクトタイム ■超低ノイズラインセンサカメラによる高S/N比の実現 従来の検査装置では「感度を上げると時間がかかる」のが常識でしたが、本モジュールは「高感度と超高速」を両立。 業界標準機と比較して約4倍の検査スピードを誇ります。 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。 ※実機での評価依頼を受付中。1回目のサンプル評価は無償にて承ります。

• その他光学部品

『ARCscan　TypeRE&ME兼用』は、ミクロ観察では困難な広い領域における パターン形状の均一性の解析・評価を可能とする装置です。 観察対象を最適化した光学条件を実現し、従来では困難であった高感度・高速・ 大面積の検査を可能としました。 パターンに最適な条件でマクロ観察が可能な『Type:RE』と、マクロ光学系でナ ノの評価が可能な『Type：ME』の兼用仕様。 【特長】 ■観察対象を最適化した光学条件を実現 ■困難だった高感度・高速・大面積の検査が可能 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• その他検査機器・装置

スミックス株式会社は、主に光学検査装置の開発・製造・販売を行っている会 社です。 マクロ光学検査の有用性と可能性を半導体・液晶・NIL・その他各検査市場に提 案し、 検査工程の効率化・高感度化を通して社会に貢献することを目的として います。 コアとなる技術（OAS Technology）は、散乱光を利用したマクロ検査に特化 した独自光学系を採用しており、CDとの相関が高いマクロ検査が可能です。 【事業内容】 ■光学検査モジュールの開発・製造・販売及びカスタマイズ ■光学検査装置開発技術コンサルティング ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• その他光学部品