検査・評価事例集を無料進呈。散乱光や反射光で凹凸やムラも可視化し、製造工程の歩留まり改善を支援
スミックスは、半導体ウェハやガラス、金属薄膜、樹脂フィルムなどの 異物・キズに加え、膜ムラも高速で可視化する「マクロ検査技術」を提供しています。 散乱光や反射光を利用して、材料表面の微細な異物・欠陥から 膜厚ムラなどの外観異常までを捉え、全面全数検査を実現。 製造工程の歩留まりに異常の把握を支援し、品質管理の効率化や歩留まり改善に貢献します。 【検査・欠陥・可視化項目（抜粋）】 ■パーティクル ■付着物・汚れ ■レジスト残り・加工残渣 ■キズ ■ピンホール ■突起 ■微小凹凸（表面粗さ・結晶欠陥） ■クラック ■チッピング ■ボイド ■デラミネーション（剥離） ■バリ ■白濁・ヘイズ ■色ムラ ■輝度ムラ ■膜ムラ ■塗布ムラ ■膜厚ムラ ■パターンの異常・欠陥（欠け、ショート、オープン、ライン幅異常） ※＜カタログをダウンロード＞より、事例集と当社技術の紹介資料をご覧いただけます。 ※無償評価を受付中です。お気軽にお問い合わせください。
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基本情報
【対象材料・ワーク】 ■半導体ウェハ シリコン（Si）、炭化ケイ素（SiC）、窒化ガリウム（GaN）、ガリウム砒素（GaAs）、 リン化インジウム（InP）、サファイア ■ガラス・透明体 石英ガラス、無アルカリガラス、ディスプレイガラス、薄板ガラス、ITO（透明導電膜） ■金属・セラミック 多結晶アルミナ、焼結体、金属（Al、Cu、Ni、Cr、Ti、SUS）、金属薄膜（蒸着膜・スパッタ膜） ■無機薄膜 酸化膜（SiO2、Cr2O3）、窒化膜（SiN、AlN）、透明コーティング膜、誘電体多層膜（AR膜） ■有機膜・樹脂・フィルム 樹脂（PET、PI、PC、PMMA、エポキシ）、フォトレジスト、光学フィルム、機能性フィルム、保護フィルム ■その他 蓄電材料（ABF）、ペロブスカイト 【こんなお悩みに】 ◎全数検査により歩留まりを改善したい ◎製造工程で発生する膜ムラを可視化したい ◎異物やキズの検査にかかる時間を短縮したい ◎多様な材料や膜の外観異常を検査したい ※＜カタログをダウンロード＞より、事例集と当社技術の紹介資料をご覧いただけます。
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企業情報
スミックス株式会社は、マクロ光学検査を専門とする装置開発・製造・販売会社です。CDとの相関が高いマクロ検査や、3nmのサイズ変化をマクロ的に捉えること、鏡面のウェハーの凸凹を可視化などが可能です。当社のマクロ検査を導入する事で、お客様にはより効率的にコスト競争力のある検査工程を確立して頂けます。マクロ光学検査のことなら当社にお任せ下さい。
