マクロ検査 - メーカー・企業と業務用製品 | イプロスものづくり

異物・キズ・膜ムラを全面全数で高速可視化するマクロ検査

検査・評価事例集を無料進呈。散乱光や反射光で凹凸やムラも可視化し、製造工程の歩留まり改善を支援

スミックスは、半導体ウェハやガラス、金属薄膜、樹脂フィルムなどの 異物・キズに加え、膜ムラも高速で可視化する「マクロ検査技術」を提供しています。 散乱光や反射光を利用して、材料表面の微細な異物・欠陥から 膜厚ムラなどの外観異常までを捉え、全面全数検査を実現。 製造工程の歩留まりに異常の把握を支援し、品質管理の効率化や歩留まり改善に貢献します。 【検査・欠陥・可視化項目（抜粋）】 ■パーティクル　■付着物・汚れ　■レジスト残り・加工残渣 ■キズ　　　　　■ピンホール　　■突起　　■微小凹凸（表面粗さ・結晶欠陥） ■クラック　　　■チッピング　　■ボイド　■デラミネーション（剥離） ■バリ　　　　　■白濁・ヘイズ　■色ムラ　■輝度ムラ　■膜ムラ　■塗布ムラ　■膜厚ムラ ■パターンの異常・欠陥（欠け、ショート、オープン、ライン幅異常） ※＜カタログをダウンロード＞より、事例集と当社技術の紹介資料をご覧いただけます。 ※無償評価を受付中です。お気軽にお問い合わせください。