暗視野光学系が微小異物・傷を逃さない。解像せずミー散乱光を捉える独自技術で、12インチウエハをわずか7秒で全面検査。
半導体ウエハ上の微小異物検査に特化したマクロ検査モジュールです。 高解像度カメラでは視界が狭く時間を要する検査を、スミックス独自の「異物検査専用・暗視野光学系」で劇的に高速化します。 【主な特長】 ■0.2μmレベルの微小異物（PSL）を確実に可視化 ※0.1μm開発中 ■ミー散乱光の検出により、解像に頼らず異物を特定 ■12インチウエハを最短7秒でスキャンする圧倒的タクトタイム ■超低ノイズラインセンサカメラによる高S/N比の実現 従来の検査装置では「感度を上げると時間がかかる」のが常識でしたが、本モジュールは「高感度と超高速」を両立。 業界標準機と比較して約4倍の検査スピードを誇ります。 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。 ※実機での評価依頼を受付中。1回目のサンプル評価は無償にて承ります。
この製品へのお問い合わせ
カタログ（2）
カタログをまとめてダウンロード
企業情報
スミックス株式会社は、マクロ光学検査を専門とする装置開発・製造・販売会社です。CDとの相関が高いマクロ検査や、3nmのサイズ変化をマクロ的に捉えること、鏡面のウェハーの凸凹を可視化などが可能です。当社のマクロ検査を導入する事で、お客様にはより効率的にコスト競争力のある検査工程を確立して頂けます。マクロ光学検査のことなら当社にお任せ下さい。
