スミックスの製品ラインアップ

ウエハ上のパターン寸法のバラツキを、非破壊・超高速にモニタリングする検査モジュールです。 従来、SEM（走査電子顕微鏡）で時間をかけて計測していたパターンサイズの変動を、マクロ画像の輝度情報として可視化します。 露光工程やエッチング工程における「装置固有のムラ」や「経時変化」をリアルタイムで監視可能。 微細化が進む次世代デバイスの歩留まり改善に大きく貢献します。 【技術的特長】 ■測長SEMデータと極めて高い相関（R²=0.964）を確認済み ■チップ内の特定エリアだけでなく、ウエハ全面の分布を一括把握 ■テレセントリシティを最適化した光学系による高精度な観察 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。 ※実機での評価依頼を受付中。1回目のサンプル評価は無償にて承ります。

スミックス株式会社は、半導体業界の検査工程に革新をもたらす「マクロ光学検査」の専門メーカーです。 「解像度を上げると視界が狭まり、検査時間を要する」という業界の常識を、独自の光学系と自社開発ラインセンサカメラで打破。 12インチウエハをわずか7秒で撮像する、業界標準比4倍の超高速検査を実現しました。 【提供ソリューション】 ■ウエハ上の0.1μm異物を捉える「暗視野光学系」 ■ナノレベルの表面歪みを可視化する「オフアキシス光学系」 ■膜厚やパターンサイズの変化を定量化する「計測相関技術」 これら先進の光学技術を「検査モジュール」として提供し、半導体・装置メーカー様の競争力向上に貢献します。 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。 ※実機での評価依頼を受付中。1回目のサンプル評価は無償にて承ります。