測長SEMデータの相関性R²=0.96を実現。広範囲のチップパターンサイズ変化を、画像輝度の変化として定量的に観察。
ウエハ上のパターン寸法のバラツキを、非破壊・超高速にモニタリングする検査モジュールです。 従来、SEM（走査電子顕微鏡）で時間をかけて計測していたパターンサイズの変動を、マクロ画像の輝度情報として可視化します。 露光工程やエッチング工程における「装置固有のムラ」や「経時変化」をリアルタイムで監視可能。 微細化が進む次世代デバイスの歩留まり改善に大きく貢献します。 【技術的特長】 ■測長SEMデータと極めて高い相関（R²=0.964）を確認済み ■チップ内の特定エリアだけでなく、ウエハ全面の分布を一括把握 ■テレセントリシティを最適化した光学系による高精度な観察 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。 ※実機での評価依頼を受付中。1回目のサンプル評価は無償にて承ります。
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企業情報
スミックス株式会社は、マクロ光学検査を専門とする装置開発・製造・販売会社です。CDとの相関が高いマクロ検査や、3nmのサイズ変化をマクロ的に捉えること、鏡面のウェハーの凸凹を可視化などが可能です。当社のマクロ検査を導入する事で、お客様にはより効率的にコスト競争力のある検査工程を確立して頂けます。マクロ光学検査のことなら当社にお任せ下さい。
