3nmの微細な変化を可視化。オフアキシス光学系とエッジ反射光検出により、ウエハ表面の歪みやキズを広域一括で捉えます。
Si、SiC、GaNなどのウエハ表面に存在する、目視や顕微鏡では捉えにくい微細な凹凸・キズ・歪みを可視化するユニットです。 スミックス独自の「オフアキシス光学系」を採用し、表面の傾斜角による光の反射変化（エッジ反射光）を鋭敏に検出します。 【可視化できる欠陥】 ■ナノレベルの表面凹凸や結晶欠陥 ■スラリー残渣や微細なスクラッチ ■ダイシング後のチッピングやクラック 顕微鏡によるサンプリング検査では見逃しがちな広域の「違和感」を、マクロ画像として一目で把握可能。 これにより、検査工程のボトルネックを解消し、品質管理の精度を飛躍的に高めます。 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。 ※実機での評価依頼を受付中。1回目のサンプル評価は無償にて承ります。
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企業情報
スミックス株式会社は、マクロ光学検査を専門とする装置開発・製造・販売会社です。CDとの相関が高いマクロ検査や、3nmのサイズ変化をマクロ的に捉えること、鏡面のウェハーの凸凹を可視化などが可能です。当社のマクロ検査を導入する事で、お客様にはより効率的にコスト競争力のある検査工程を確立して頂けます。マクロ光学検査のことなら当社にお任せ下さい。
