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高速 3D-AOI(自動光学式検査)
近年エレクトロニクス製品の生産は目覚ましい発展を遂げています。回路基板設計は一段と複雑化し、コンポーネントの小型化が進んでいます。人間の視覚に頼る目視検査では確実な品質検査はもはやほぼ不可能です。安全性に関わる製品の製造においては特に、ゼロ欠陥戦略と呼ばれる要求を満たさなければなりません。 Viscom検査システムは、高性能カメラモジュールを採用し、その大半は自社製造品です。多色照明に加えて、テストサンプルを異なる角度から観察することが可能なため、三次元特徴も確実に識別できます。Viscom検査システムは優れた搬送コンセプトやインテリジェントなイメージ処理と相まって、微細なハンダ結合部、実装あるいはハンダペーストの検査等、ごく短時間のサイクルタイムで最高レベルの検査精度を確保します。ワイヤーボンディングや透明タイプの保護コーティングに関しても、多様な欠陥特性を確実に検査します。
マクロ検査のパイオニア！ナノレベルの斑（ムラ）や凹凸を可視化します
スミックス株式会社は、主に光学検査装置の開発・製造・販売を行っている会 社です。 マクロ光学検査の有用性と可能性を半導体・液晶・NIL・その他各検査市場に提 案し、 検査工程の効率化・高感度化を通して社会に貢献することを目的として います。 コアとなる技術（OAS Technology）は、散乱光を利用したマクロ検査に特化 した独自光学系を採用しており、CDとの相関が高いマクロ検査が可能です。 【事業内容】 ■光学検査モジュールの開発・製造・販売及びカスタマイズ ■光学検査装置開発技術コンサルティング ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
半透明ラベルの制御は、高度なスマートセンサーに基づく！ラベル用光学検査装置のご紹介
日本CBLが取り扱うFT SYSTEM社製の光学検査装置 『CE600-SE/VA/CR』をご紹介します。 LABEL CONTROL MACHINEは、部分的またはラップアラウンドを 問わず、さまざまな種類の容器に適用される不透明または部分的に 透明なラベルの存在を保証するのに理想的です。 ラベルプレゼンスシステムの構成は、適用されるコンテナとラベルの タイプに応じて定義。 半透明ラベルの制御は、高度なスマートセンサーに基づいています。 【特長】 ■技術：光学 ■応用：ラベル用 ■インライン ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
業界をリードする検査速度！TRIスマートライブラリーによるイージープログラミング！マルチ3Dテクノロジーによる見逃しゼロ検査！
最新の改良されたTRIの光学システムが搭載されており、安定性が向上し、速さが前のモデルと比較して最大25％向上しています。 TR7700Q SIIは、Stop-and-Goイメージングテクノロジーにより、高精度でGR＆Rが向上しています。 TRIの3D AOIテクノロジーは、焦点深度（DFF）、3Dブルーレーザー、モアレ投影など、事実上ゼロエスケープ検査に対応しています。 DFF 3Dテクノロジーは1µmの光学分解能を備え、オペレーターの再検査を減らし、運用コストを削減します。 ※製品の詳細は、下記「PDFダウンロード」よりカタログをご覧ください。
半導体デバイス製品向け、自動光学検査装置！ インナークラックの高速評価に最適です！
高解像度カメラによる、各種ワイヤーボンディング、ダイボンディング評価、大口径ウェハバンプ評価に対応！！ FOUP、カセット、マガジン等のあらゆる半導体デバイスに対応可。 ※製品の詳細は、下記「PDFダウンロード」よりカタログをご覧ください。
TR7700QM SIIは、半導体およびパッケージング業界向けの2.5 µm高解像度25MPを備え、高精度に構築されています。
•半導体およびパッケージング技術の検査。 •超高精度メトロロジーグレードの検査のための2.5μmの解像度。 •TRIのスマート検査ライブラリを使用して数分で検査する準備ができてい ます。 •フルカバレッジ検査のための複数の3Dテクノロジー。 ※製品の詳細は、下記「PDFダウンロード」よりカタログをご覧ください。
ウェーハおよびチップレベルでのデバイス検査を自動化します！
当社で提供している「自動光学検査装置(AOI)」について ご紹介いたします。 シリコンフォトニクスやフォトニック集積回路(PIC)デバイスの欠陥を 高精度に検出するシステムです。 機械学習アルゴリズムを活用し、ウェーハおよびチップレベルでの フォトニックデバイス検査を自動化します。 【特長】 ■高精度検査 ■自動検査機能 ■柔軟な検査対応 ■多様な観察モード ■検出可能欠陥 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
世の中で最も高感度な光センサーに薄膜ムラ検出アルゴリズムを搭載したマクロ光学検査装置
世の中で最も高感度な光センサーに薄膜ムラ検出アルゴリズムを搭載 マクロ光学検査とは、対象物に光を照射し、その反射光情報から欠陥を検出や形状を把握する技術です。 従来の目視検査や顕微鏡を使ったミクロ検査と比べ、短時間で高精度な検査結果が得られ、液晶パネルなどの成膜工程での製造品質、検査精度を飛躍的に向上させ、業界最高レベルの高感度を実現します。 協業パートナー：スミックス株式会社 マクロ光学のエキスパートで、４つの関連特許を取得。薄膜ムラ検出アルゴリズムを弊社と共同開発。
深さ数μmの微小なキズや異物も見逃さない。目視検査に頼っていた欠陥検知を、独自の散乱光検出技術によってワンショットで撮像・検知！
製造現場・外観検査工程でこのような 「微細欠陥検査」 の課題はありませんか？ ● 微細なキズなどがカメラに映らず、熟練検査員の目視検査とせざるを得ない ● 作業員ごとの検査品質のばらつき ● 明確な検査エビデンスが残らない ● 少子高齢化による検査員の人手不足 ▼ ワンショットで“見える化” 微細欠陥可視化 ！ 光学検査技術 OneShotBRDF が解決します！ 光学検査技術OneShotBRDFとは、光の反射角度を選択する「多波長超同軸開口フィルター」を組み合わせた独自の手法により、欠陥凹凸のわずかな散乱光をワンショットで撮像可能にする技術です。 ――― ポイント ――――――――――――――――――――― ◆ 認識困難なミクロなキズや凹凸を可視化 ◆ 多波長同軸開口フィルタによる散乱光識別でワンショットで高速検査 ◆ 散乱光を色分離し、微細欠陥を可視化 ◆検査対象物に合わせた3種類の技術をラインナップ ◆本技術はライセンスアウト方式にてご提供 ―――――――――――――――――――――――――――――
【ドイツから日本上陸】生基板の検品に好適！高速スキャニング＆高精細撮影による完璧な検品を
dxfファイルやガーバーデータを基準にして、基板の歪みや加工ミスを検品します。
限りない品質保証への挑戦！目視判定で数μ単位の欠陥検出が可能です
吉城光科学の『検査』技術をご紹介します。 検査環境整備と検査技術向上により、目視判定で数μ単位の欠陥検出が可能。 また、顕微鏡・マイクロスコープによる検査及びヒューマンエラーを 無くすため検査の自動化も進めており、顧客ニーズを満足させる事が 可能です。 【主要設備（抜粋）】 ■レーザー干渉計（φ150解析装置付） ■レーザー干渉計（φ60） ■オートコリメーター ■投影機 ■分光光度計 ■レーザー式光量測定器 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
4wayデジタルアダプティブフリンジパターンプロジェクションと4sideカメラに基づく次世代マルチアングル高性能AOI！
最新の検査ソフトウェアは、迅速なCADベースのプログラミングを保証し、完全にカスタマイズ可能なテンプレートを備えています。 ・マルチアングル2D + 3D ・4ウェイデジタルフリンジプロジェクター ・4サイドカメラ ・最大40 mmの3D高さ範囲対応 ・高速CoaXPressイメージング ・オプションの3Dレーザーモジュール ※製品の詳細は、カタログをダウンロードしてご覧ください。
3nmの微細な変化を可視化。オフアキシス光学系とエッジ反射光検出により、ウエハ表面の歪みやキズを広域一括で捉えます。
Si、SiC、GaNなどのウエハ表面に存在する、目視や顕微鏡では捉えにくい微細な凹凸・キズ・歪みを可視化するユニットです。 スミックス独自の「オフアキシス光学系」を採用し、表面の傾斜角による光の反射変化（エッジ反射光）を鋭敏に検出します。 【可視化できる欠陥】 ■ナノレベルの表面凹凸や結晶欠陥 ■スラリー残渣や微細なスクラッチ ■ダイシング後のチッピングやクラック 顕微鏡によるサンプリング検査では見逃しがちな広域の「違和感」を、マクロ画像として一目で把握可能。 これにより、検査工程のボトルネックを解消し、品質管理の精度を飛躍的に高めます。 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。 ※実機での評価依頼を受付中。1回目のサンプル評価は無償にて承ります。
【ドイツから日本上陸】生基板の検品に好適！高速スキャニング＆高精細撮影による完璧な検品を
dxfファイルやガーバーデータを基準にして、基板の歪みや加工ミスを検品します。
マクロ検査のパイオニア！ナノレベルの斑（ムラ）や凹凸を可視化します
製造業の品質管理においては、製品の信頼性を確保するために、製造工程における微細な欠陥や異常を早期に発見することが重要です。特に、半導体、液晶、NILなどの分野では、製品の性能に直結する微細なムラや凹凸の検出が不可欠です。これらの欠陥を見逃すと、製品の不良や性能低下につながり、コスト増につながる可能性があります。スミックス株式会社の光学検査装置は、CDとの相関が高いマクロ検査により、これらの課題を解決します。 【活用シーン】 ・パターン均一性評価 ・高感度な膜厚均一性評価 ・凹凸・傷欠陥検査 【導入の効果】 ・検査工程の効率化 ・高感度な検査による品質向上 ・コスト競争力の強化
