光学検査装置 - 企業ランキング(全7社)
更新日: 集計期間:2026年05月20日〜2026年06月16日
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| 会社名 | 代表製品 | ||
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| 製品画像・製品名・価格帯 | 概要 | 用途/実績例 | |
| 【特長】 ・散乱光を利用したマクロ検査に特化した独自光学系を採用 ・CDとの相関が高いマクロ検査が可能 ・パターン均一性評価 ・高感度な膜厚均一性評価 ・凹凸・傷欠陥検査 【当社の強み】 ・マクロ光学検査を専門とする光学検査モジュールの開発・製造・販売及びカスタマイズ ・光学検... | |||
スミックス株式会社 事業紹介
応相談 |
【業務内容】 ■パターン:パターン均一性評価 ■薄膜:高感度な膜厚均一性評価 ■表面:凹凸・傷欠陥検査 など | ||
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- 代表製品
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【製造業向け】スミックス株式会社 事業紹介
- 概要
- 【特長】 ・散乱光を利用したマクロ検査に特化した独自光学系を採用 ・CDとの相関が高いマクロ検査が可能 ・パターン均一性評価 ・高感度な膜厚均一性評価 ・凹凸・傷欠陥検査 【当社の強み】 ・マクロ光学検査を専門とする光学検査モジュールの開発・製造・販売及びカスタマイズ ・光学検...
- 用途/実績例
スミックス株式会社 事業紹介
- 概要
- 【業務内容】 ■パターン:パターン均一性評価 ■薄膜:高感度な膜厚均一性評価 ■表面:凹凸・傷欠陥検査 など
- 用途/実績例
表面凹凸可視化ユニット|ナノレベルの結晶欠陥をマクロで捕捉
- 概要
- 用途/実績例
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