マクロ検査のパイオニア！ナノレベルの斑（ムラ）や凹凸を可視化します
スミックス株式会社は、主に光学検査装置の開発・製造・販売を行っている会 社です。 マクロ光学検査の有用性と可能性を半導体・液晶・NIL・その他各検査市場に提 案し、 検査工程の効率化・高感度化を通して社会に貢献することを目的として います。 コアとなる技術（OAS Technology）は、散乱光を利用したマクロ検査に特化 した独自光学系を採用しており、CDとの相関が高いマクロ検査が可能です。 【事業内容】 ■光学検査モジュールの開発・製造・販売及びカスタマイズ ■光学検査装置開発技術コンサルティング ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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基本情報
【業務内容】 ■パターン：パターン均一性評価 ■薄膜：高感度な膜厚均一性評価 ■表面：凹凸・傷欠陥検査 など ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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用途／実績例
※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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企業情報
スミックス株式会社は、マクロ光学検査を専門とする装置開発・製造・販売会社です。CDとの相関が高いマクロ検査や、3nmのサイズ変化をマクロ的に捉えること、鏡面のウェハーの凸凹を可視化などが可能です。当社のマクロ検査を導入する事で、お客様にはより効率的にコスト競争力のある検査工程を確立して頂けます。マクロ光学検査のことなら当社にお任せ下さい。