世の中で最も高感度な光センサーに薄膜ムラ検出アルゴリズムを搭載したマクロ光学検査装置
世の中で最も高感度な光センサーに薄膜ムラ検出アルゴリズムを搭載 マクロ光学検査とは、対象物に光を照射し、その反射光情報から欠陥を検出や形状を把握する技術です。 従来の目視検査や顕微鏡を使ったミクロ検査と比べ、短時間で高精度な検査結果が得られ、液晶パネルなどの成膜工程での製造品質、検査精度を飛躍的に向上させ、業界最高レベルの高感度を実現します。 協業パートナー：スミックス株式会社 マクロ光学のエキスパートで、４つの関連特許を取得。薄膜ムラ検出アルゴリズムを弊社と共同開発。
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基本情報
＜仕様＞ • カメラ解像度 14µm～ • センサー画素数 約8,000画素 • 出力画像 8bit • 光源 専用照明 ＜特徴＞ • 独自開発の超低ノイズセンサーにより非常に高いS/N比で画像取得 • 専用の画像処理アルゴリズムで従来では成しえなかった微小な表面凹凸の定量化が可能 ＜アプリケーション例＞ • 半導体ウエハーのバンプ形状検査 • 半導体チャックの塵検出 • ガラス表面のキズ、ムラ検出 • 表面が微小な凹凸物の形状管理
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用途／実績例
半導体ウエハーのバンプ形状検査 • 半導体チャックの塵検出 • ガラス表面のキズ、ムラ検出 • 表面が微小な凹凸物の形状管理
詳細情報
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マクロ光学検査装置 世の中で最も高感度な光センサーに薄膜ムラ検出アルゴリズムを搭載 マクロ光学検査とは、対象物に光を照射し、その反射光情報から欠陥検出や形状把握などを行う技術です。 弊社のマクロ光学検査装置は、独自技術により、業界最高レベルの高感度を実現します。
ラインアップ（1）
| 型番 | 概要 |
|---|---|
| TMIS-SYS-xx-01 | ◆ マクロ光学検査装置 構成モジュール ・ラインセンサ・専用照明 ・ホストPC ・画像処理ソフト |
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企業情報
EC（Electronic Components)事業では、独立系商社ならではの情報を生かし、各分野のトップ企業、国内・海外約50社から幅広く半導体・電子部品を調達しています。また、蓄積した技術と長年の経験を持つ設計開発センターを活用し、委託によるLSIやボード等の設計・開発の支援および自社ブランド商品の開発を「inrevium（インレビアム）」として提供しています。 CN(Computer Network)事業では、コンピュータシステムおよびネットワーク関連機器を幅広く取り扱い、ブロードバンド時代のビジネスソリューションとして提供しています。世界の最先端テクノロジーをいち早くキャッチするマーケティング機能を国内外に持ち、導入からサポートまで一貫して提供しています。