世の中で最も高感度な光センサーに薄膜ムラ検出アルゴリズムを搭載したマクロ光学検査装置
世の中で最も高感度な光センサーに薄膜ムラ検出アルゴリズムを搭載 マクロ光学検査とは、対象物に光を照射し、その反射光情報から欠陥を検出や形状を把握する技術です。 従来の目視検査や顕微鏡を使ったミクロ検査と比べ、短時間で高精度な検査結果が得られ、液晶パネルなどの成膜工程での製造品質、検査精度を飛躍的に向上させ、業界最高レベルの高感度を実現します。 協業パートナー：スミックス株式会社 マクロ光学のエキスパートで、４つの関連特許を取得。薄膜ムラ検出アルゴリズムを弊社と共同開発。
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基本情報
＜仕様＞ • カメラ解像度 14µm～ • センサー画素数 約8,000画素 • 出力画像 8bit • 光源 専用照明 ＜特徴＞ • 独自開発の超低ノイズセンサーにより非常に高いS/N比で画像取得 • 専用の画像処理アルゴリズムで従来では成しえなかった微小な表面凹凸の定量化が可能 ＜アプリケーション例＞ • 半導体ウエハーのバンプ形状検査 • 半導体チャックの塵検出 • ガラス表面のキズ、ムラ検出 • 表面が微小な凹凸物の形状管理
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用途／実績例
半導体ウエハーのバンプ形状検査 • 半導体チャックの塵検出 • ガラス表面のキズ、ムラ検出 • 表面が微小な凹凸物の形状管理
詳細情報
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マクロ光学検査装置 世の中で最も高感度な光センサーに薄膜ムラ検出アルゴリズムを搭載 マクロ光学検査とは、対象物に光を照射し、その反射光情報から欠陥検出や形状把握などを行う技術です。 弊社のマクロ光学検査装置は、独自技術により、業界最高レベルの高感度を実現します。
ラインアップ（1）
| 型番 | 概要 |
|---|---|
| TMIS-SYS-xx-01 | ◆ マクロ光学検査装置 構成モジュール ・ラインセンサ・専用照明 ・ホストPC ・画像処理ソフト |
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企業情報
東京エレクトロンデバイスのPB（プライベートブランド）事業は、「画像処理」「データサイエンス」「ロボティクス」などの保有技術を融合し、半導体・パネル製造現場や工場・ロジスティクス現場の作業を自動化・効率化する設備や、半導体製造装置・工作機械・加工機・検査装置など各種装置・システム向けの組込みソリューションを開発・提供しています。 さらに、設計・量産受託サービスは inrevium（インレビアム）ブランド として展開し、お客様の基板の仕様検討から設計・試作・評価・量産試作・量産までをワンストップで提供。自社技術とグループ内での一貫受託体制を活かすことで、開発効率の向上や自動化・省人化による生産性改善に貢献しています。
