ナノレベルの結晶欠陥をマクロで捕捉し、品質管理の精度を向上。
半導体業界の品質管理において、ウエハ表面の微細な欠陥の検出は、製品の信頼性を左右する重要な要素です。目視や顕微鏡検査では見逃しがちなナノレベルの凹凸やキズは、歩留まりの低下や製品不良の原因となります。本ユニットは、オフアキシス光学系とエッジ反射光検出により、これらの微細な欠陥を広域で捉え、検査工程の効率化と品質管理の精度向上に貢献します。 【活用シーン】 ・ウエハ表面の品質検査 ・製造工程における異常の早期発見 ・品質管理部門での検査業務 【導入の効果】 ・検査時間の短縮 ・不良品の削減 ・品質管理コストの削減
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基本情報
【特長】 ・数nmの微小な凹凸変化を可視化 ・オフアキシス光学系とエッジ反射光検出による高感度検出 ・広範囲の表面状態をマクロ画像で一括把握 ・Si、SiC、GaNなどの様々なウエハに対応 ・目視検査や顕微鏡検査では見逃しがちな欠陥をウェハ全面で高速検出 【当社の強み】 マクロ光学検査を専門とし、お客様のニーズに合わせた最適な検査ソリューションを提供します。検査工程の効率化と品質向上を支援します。
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企業情報
スミックス株式会社は、マクロ光学検査を専門とする装置開発・製造・販売会社です。CDとの相関が高いマクロ検査や、3nmのサイズ変化をマクロ的に捉えること、鏡面のウェハーの凸凹を可視化などが可能です。当社のマクロ検査を導入する事で、お客様にはより効率的にコスト競争力のある検査工程を確立して頂けます。マクロ光学検査のことなら当社にお任せ下さい。
