膜厚差を「色」で捉える。粘性流体の特性から発生する微小なムラやディスペンス条件の差を、超高感度に可視化します。
レジストコーティング工程における膜厚の不均一性（膜ムラ）を、定量的に可視化・管理するための光学システムです。 独自の「OASフィルタ」を用いた薄膜強調処理により、従来の目視検査では判定が困難だった微細なムラを鮮明に映し出します。 【活用シーン】 ■レジストコーターの日常管理・条件出し ■アクセル回転数やTimeの違いによるムラ発生の定量観察 ■レジストLot変更時の品質チェック レジストディスペンス時のわずかな条件差をマクロ画像で把握できるため、プロセス開発のスピードアップと安定稼働を支援します。 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。 ※実機での評価依頼を受付中。1回目のサンプル評価は無償にて承ります。
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企業情報
スミックス株式会社は、マクロ光学検査を専門とする装置開発・製造・販売会社です。CDとの相関が高いマクロ検査や、3nmのサイズ変化をマクロ的に捉えること、鏡面のウェハーの凸凹を可視化などが可能です。当社のマクロ検査を導入する事で、お客様にはより効率的にコスト競争力のある検査工程を確立して頂けます。マクロ光学検査のことなら当社にお任せ下さい。
