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表裏の位置ずれ／寸法測定顕微鏡をご紹介。高精度、低価格化を実現しました
『TOMOS-50』は、水晶振動子、MEMS、半導体等の電子部品の表裏を 同時に撮影、±0.2μm以下の精度で測定できるコンパクトタイプの 表裏位置ずれ計測システムです。 表裏光軸補正はマイクロステージ＋ソフトウェアで高精度に補正可能。 また、装置組込用両面顕微鏡モジュールとしての販売もしております。 お問い合わせください。 【特長】 ■コンパクトタイプ ■約300万画素 ■表裏両面を同時撮影、寸法計測、位置ずれ計測が可能 ■表裏光軸補正はマイクロステージ＋ソフトウェアで高精度に補正 ■±0.2μm以下の繰り返し精度で表裏の位置ずれを測定(条件により異なる) ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
±0.3μm以下の繰り返し精度で表裏の位置ずれを測定します！
『TOMOS-50/60/80/XY』は、表裏両面を同時撮影、寸法計測、 位置ずれ計測が可能な両面顕微鏡位置ずれ計測システムです。 電動制御及び自動計測となっており、両面露光パターンズレや 半導体ウエハー、4インチ、6インチ、8インチウエハー、MEMS、 水晶振動子などの表裏位置ずれ計測、観察に利用可能。 表裏光軸補正はマイクロステージ＋ソフトウェアで高精度に補正します。 また、装置組込用両面顕微鏡モジュールとしての販売も可能です。 【特長】 ■表裏両面を同時撮影、寸法計測、位置ずれ計測が可能 ■表裏光軸補正はマイクロステージ＋ソフトウェアで高精度に補正 ■±0.3μm以下の繰り返し精度で表裏の位置ずれを測定 ■表裏2chオートフォーカスユニット組み合わせ可能(オプション) ■電動XYステージ制御システム開発中 ■装置組込用両面顕微鏡モジュールとしての販売も可能 ※詳しくはカタログをダウンロードいただくか、お気軽にお問合せ下さい。
