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表裏の位置ずれ／寸法測定顕微鏡をご紹介。高精度、低価格化を実現しました
『TOMOS-50』は、水晶振動子、MEMS、半導体等の電子部品の表裏を 同時に撮影、±0.2μm以下の精度で測定できるコンパクトタイプの 表裏位置ずれ計測システムです。 表裏光軸補正はマイクロステージ＋ソフトウェアで高精度に補正可能。 また、装置組込用両面顕微鏡モジュールとしての販売もしております。 お問い合わせください。 【特長】 ■コンパクトタイプ ■約300万画素 ■表裏両面を同時撮影、寸法計測、位置ずれ計測が可能 ■表裏光軸補正はマイクロステージ＋ソフトウェアで高精度に補正 ■±0.2μm以下の繰り返し精度で表裏の位置ずれを測定(条件により異なる) ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
8インチ電動XYステージとオートフォーカス機能を搭載！正確に移動制御し測定エラーを防止
『TOMOS-80XY』は、あらかじめ指定したワークの測定箇所に自動で移動し、 MEMS、半導体ウェハなどの表裏パターンやアライメントマークのずれを 自動測定できる両面顕微鏡システムです。 円、四角、十字等のアライメントマークのエッジを自動検出し、 中心座標同士のずれを測定。XYZステージ制御条件、測定条件、マップ作成、 レシピ登録し、ワークの複数箇所を自動測定します。 また、XYステージとワークの装着位置のずれ補正アライメント機能を 搭載しており、正確に移動制御し測定エラーを防ぎます。 【ソフト機能(抜粋)】 ■表裏光軸補正 ■表裏レンズ倍率補正 ■カメラ取付θずれ補正 ■表裏位置ずれ自動計測 ■電動ステージ制御、マップ移動制御 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
表裏同時観察による高効率な検査を実現。レンズ、LEDチップ、通信部品などの微細部品の傷やズレを確実に捉える顕微鏡システム！
『TOMOS-50R1』は、撮影視野1倍での両面広視野撮影が可能な 広視野リング照明付きの両面顕微鏡システムです。 コンデンサ、抵抗などの電子部品、通信デバイス用樹脂部品、 レンズなどの個片全体を撮影し、表裏両面のキズ検査が可能です。 【特長】 ■顕微鏡表裏の光軸ずれや、レンズ倍率誤差、カメラのθずれを 高精度に画像処理補正 ■表と裏をひっくり返す手間無く寸法測定も可能 ■水晶振動子、MEMS、プリント基板の穴、電子部品の表裏を同時に撮影 ■表裏のパターンやアライメントマークのずれを繰り返し精度±0.010mm精度で測定可能（※） ※測定精度は、被写体条件、測定条件、対物レンズ倍率、測定環境等により変わります。 サンプルテストにてご確認下さい。 ＼ 詳細は「カタログをダウンロード」よりご確認下さい ／
XY電動ステージとオートフォーカス機能を搭載！ソフトウェアなどのカスタマイズも対応
『TOMOS-60XY』は、ワークの複数箇所を自動測定できる6インチ電動 XYステージ 両面顕微鏡システムです。 あらかじめ指定したワークの測定箇所に自動で移動し、水晶振動子、 MEMS、半導体ウェハ、電子部品の表裏パターンやアライメントマークの ずれを自動測定することが可能。 また、XYステージとワークの装着位置のずれ補正アライメント機能を 搭載し、正確に移動制御し測定エラーを防ぎます。 【特長】 ■円、四角、十字等のアライメントマークのエッジを 自動検出し、中心座標同士のずれを測定 ■XYZステージ制御条件、測定条件、マップ作成、 レシピ登録し、ワークの複数個所を自動測定 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
±0.3μm以下の繰り返し精度で表裏の位置ずれを測定します！
『TOMOS-50/60/80/XY』は、表裏両面を同時撮影、寸法計測、 位置ずれ計測が可能な両面顕微鏡位置ずれ計測システムです。 電動制御及び自動計測となっており、両面露光パターンズレや 半導体ウエハー、4インチ、6インチ、8インチウエハー、MEMS、 水晶振動子などの表裏位置ずれ計測、観察に利用可能。 表裏光軸補正はマイクロステージ＋ソフトウェアで高精度に補正します。 また、装置組込用両面顕微鏡モジュールとしての販売も可能です。 【特長】 ■表裏両面を同時撮影、寸法計測、位置ずれ計測が可能 ■表裏光軸補正はマイクロステージ＋ソフトウェアで高精度に補正 ■±0.3μm以下の繰り返し精度で表裏の位置ずれを測定 ■表裏2chオートフォーカスユニット組み合わせ可能(オプション) ■電動XYステージ制御システム開発中 ■装置組込用両面顕微鏡モジュールとしての販売も可能 ※詳しくはカタログをダウンロードいただくか、お気軽にお問合せ下さい。
電動ＸＹステージとオートフォーカス機能を搭載！
『TOMOS-60XY』は、表裏両面を同時撮影、寸法計測、 位置ずれ計測が可能な両面顕微鏡位置ずれ計測システムです。 【用途】 ■観察：電子ペーパーの電気泳動、粒子、流体、フィルターなどの表裏同時観察 ■表裏位置ずれ計測：水晶振動子、ＭＥＭＳなどのアライメントマーク、貫通穴の表裏位置ずれ計測 ■表裏寸法計測：水晶振動子、半導体線幅パターンなどの表裏寸法計測 ※詳しくはカタログをダウンロードいただくか、お気軽にお問合せ下さい。
撮影視野1倍での両面広視野撮影が可能！(視野9mm x 7mm）
『TOMOS-50R1』は、撮影視野1倍での両面広視野撮影が可能な 広視野リング照明付きの両面顕微鏡システムです。 水晶振動子、MEMS、プリント基板の穴など、電子部品の表裏を 同時に撮影が可能です。 また、表裏のパターンやアライメントマークのずれを繰り返し精度 ±0.010mm精度で測定できます。 【特長】 ■顕微鏡表裏の光軸ずれや、レンズ倍率誤差、カメラのθずれを 高精度に画像処理補正 ■表と裏をひっくり返す手間無く寸法測定も可能 ■水晶振動子、MEMS、プリント基板の穴、電子部品の表裏を同時に撮影 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
電子部品・プリント基板の表裏を同時に観察できる低倍率広視野顕微鏡。キズ検査やアライメントマークの位置ずれ測定に好適！
『TOMOS-50R1』は、撮影視野1倍での両面広視野撮影が可能な 広視野リング照明付きの両面顕微鏡システムです。 コンデンサ、抵抗などの電子部品、通信デバイス用樹脂部品、 レンズなどの個片全体を撮影し、表裏両面のキズ検査が可能です。 【特長】 ■顕微鏡表裏の光軸ずれや、レンズ倍率誤差、カメラのθずれを 高精度に画像処理補正 ■表と裏をひっくり返す手間無く寸法測定も可能 ■水晶振動子、MEMS、プリント基板の穴、電子部品の表裏を同時に撮影 ■表裏のパターンやアライメントマークのずれを繰り返し精度±0.010mm精度で測定可能（※） ※測定精度は、被写体条件、測定条件、対物レンズ倍率、測定環境等により変わります。 サンプルテストにてご確認下さい。 ＼ 詳細は「カタログをダウンロード」よりご確認下さい ／
表裏同時観察による高効率な検査を実現。レンズ、LEDチップ、通信部品などの微細部品の傷やズレを確実に捉える顕微鏡システム！
『TOMOS-50R1』は、撮影視野1倍での両面広視野撮影が可能な 広視野リング照明付きの両面顕微鏡システムです。 コンデンサ、抵抗などの電子部品、通信デバイス用樹脂部品、 レンズなどの個片全体を撮影し、表裏両面のキズ検査が可能です。 【特長】 ■顕微鏡表裏の光軸ずれや、レンズ倍率誤差、カメラのθずれを 高精度に画像処理補正 ■表と裏をひっくり返す手間無く寸法測定も可能 ■水晶振動子、MEMS、プリント基板の穴、電子部品の表裏を同時に撮影 ■表裏のパターンやアライメントマークのずれを繰り返し精度±0.010mm精度で測定可能（※） ※測定精度は、被写体条件、測定条件、対物レンズ倍率、測定環境等により変わります。 サンプルテストにてご確認下さい。 ＼ 詳細は「カタログをダウンロード」よりご確認下さい ／
顕微鏡表裏の光軸ずれ､対物レンズ倍率のバラツキ､カメラのθずれを画像で補正！
当社で取り扱う、両面顕微鏡システム『TOMOSシリーズ』について ご紹介いたします。 4インチステージの「TOMOS-50」、6インチステージの「TOMOS-60」を はじめ、広視野リング照明付きの「TOMOS-50R1」などをラインアップ。 水晶振動子、MEMS、電子部品などの表裏を同時に撮影します。 表と裏をひっくり返す手間無く寸法測定も可能です。 【TOMOS-50/60 特長】 ■水晶振動子、MEMS、半導体ウエハ、電子部品の表裏を同時に撮影 ■表裏のパターンやアライメントマークのずれを繰り返し精度 ±0.3μm精度で測定可能 ■表裏顕微鏡の光軸ずれ、レンズ倍率誤差、カメラθずれを高精度に 画像処理補正 ■オートフォーカス機能、電動XYステージにも対応(オプション) ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
