XY電動ステージとオートフォーカス機能を搭載！ソフトウェアなどのカスタマイズも対応
『TOMOS-60XY』は、ワークの複数箇所を自動測定できる6インチ電動 XYステージ 両面顕微鏡システムです。 あらかじめ指定したワークの測定箇所に自動で移動し、水晶振動子、 MEMS、半導体ウェハ、電子部品の表裏パターンやアライメントマークの ずれを自動測定することが可能。 また、XYステージとワークの装着位置のずれ補正アライメント機能を 搭載し、正確に移動制御し測定エラーを防ぎます。 【特長】 ■円、四角、十字等のアライメントマークのエッジを 自動検出し、中心座標同士のずれを測定 ■XYZステージ制御条件、測定条件、マップ作成、 レシピ登録し、ワークの複数個所を自動測定 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
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基本情報
【ソフト機能】 ■表裏光軸補正 ■表裏レンズ倍率補正 ■カメラ取付θ補正 ■表裏同時撮影、ファイリング ■表裏位置ずれ自動計測 ■電動ステージ制御、マップ作成 ■移動アライメント補正 ■連続移動運転測定 ■表裏寸法自動計測(OP) ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
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当社は「見る・視る・観る・診る」の総合ソリューションカンパニーです。 新しい技術と大胆な発想で実現する映像・光学機器の開発製造から システム構築まで行っております。 業務用のデジタルカメラおよび映像関連システムの開発・製造・販売は 当社にお任せください。